[發(fā)明專利]微型麥克風(fēng)防塵裝置及MEMS麥克風(fēng)

在審

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• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111711908A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 游振江;林育菁
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 溫劍;袁文婷

本發(fā)明提供一種微型麥克風(fēng)防塵裝置及MEMS麥克風(fēng)，其中，微型麥克風(fēng)防塵裝置包括支撐載體以及設(shè)置在所述支撐載體上的進入保護膜；其中，所述支撐載體形成有通孔，所述進入保護膜覆蓋所述通孔；并且，所述進入保護膜包括設(shè)置在所述支撐載體上的第一保護層以及固定在所述第一保護層上的第二保護層，其中，所述第一保護層與所述第二保護層的材質(zhì)不同。利用上述發(fā)明能夠有效的解決現(xiàn)有的微型麥克風(fēng)防塵裝置上的薄膜結(jié)構(gòu)在高溫環(huán)境下發(fā)生屈曲的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微型麥克風(fēng)防塵技術(shù)領(lǐng)域，更為具體地，涉及一種微型麥克風(fēng)防塵裝置及MEMS麥克風(fēng)。

背景技術(shù)

為防止麥克風(fēng)內(nèi)部的芯片受到外界粉末、顆粒物、水分的影響，從而降低麥克風(fēng)的使用壽命，通常情況下，都需要在麥克風(fēng)內(nèi)部與外界的連通處(如聲孔)設(shè)計微型麥克風(fēng)防塵裝置，通過微型麥克風(fēng)防塵裝置將麥克風(fēng)芯片與外界環(huán)境分隔開，起到保護麥克風(fēng)芯片的作用。

然而，傳統(tǒng)的麥克風(fēng)微型麥克風(fēng)防塵裝置一般由載體以及設(shè)置在載體上的薄膜結(jié)構(gòu)組成，載體一般為聚合物制件，薄膜結(jié)構(gòu)一般為金屬制件，由于兩種材料的CTE不匹配(熱膨脹系數(shù))，因此，在微型麥克風(fēng)防塵裝置的安裝過程中，尤其是熱處理過程中，聚合物在較高的溫度下發(fā)生形變，并且功能結(jié)構(gòu)在室溫下會彎曲。并且，微型麥克風(fēng)防塵裝置的內(nèi)部(主要是材料的交界面處)會產(chǎn)生較強的熱應(yīng)力，而對于薄膜結(jié)構(gòu)(保護膜)而言，這樣的熱應(yīng)力會使其發(fā)生屈曲并導(dǎo)致不可控的形變，進而導(dǎo)致薄膜結(jié)構(gòu)上的網(wǎng)孔產(chǎn)生不規(guī)則的褶皺，從而降低使用效果與使用壽命。

基于上述技術(shù)問題，亟需一種能夠防止薄膜結(jié)構(gòu)在高溫環(huán)境下發(fā)生屈曲的方法。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種微型麥克風(fēng)防塵裝置及MEMS麥克風(fēng)，以解決現(xiàn)有的微型麥克風(fēng)防塵裝置上的薄膜結(jié)構(gòu)在高溫環(huán)境下發(fā)生屈曲的問題。

本發(fā)明實施例中提供的微型麥克風(fēng)防塵裝置，包括支撐載體以及設(shè)置在所述支撐載體的進入保護膜；其中，所述支撐載體形成有通孔，所述進入保護膜覆蓋所述通孔；并且，所述進入保護膜包括設(shè)置在所述支撐載體上的第一保護層以及固定在所述第一保護層上的第二保護層，其中，所述第一保護層與所述第二保護層的材質(zhì)不同。

此外，優(yōu)選的方案是，所述進入保護膜還包括設(shè)置在所述第二保護層上的第三保護層，所述第三保護層與所述第二保護層的材質(zhì)不同。

此外，優(yōu)選的方案是，所述支撐載體為聚合物制件，所述第一保護層為金屬制件，所述第二保護層為聚合物制件，所述第三保護層為金屬制件。

此外，優(yōu)選的方案是，所述支撐載體為聚合物制件，所述第一保護層為聚合物制件，所述第二保護層為金屬制件，所述第三保護層為聚合物制件。

此外，優(yōu)選的方案是，在所述第一保護層、所述第二保護層以及所述第三保護層中，任意兩層的厚度相同或不同。

此外，優(yōu)選的方案是，所述第一保護層包括連接部和過濾部，所述過濾部通過所述連接部與所述支撐載體相連；并且，所述過濾部與所述通孔上下位置對應(yīng)。

此外，優(yōu)選的方案是，所述過濾部與所述通孔的橫截面均為圓形結(jié)構(gòu)；并且，所述過濾部上的網(wǎng)孔為圓形、多邊形或異形結(jié)構(gòu)。

此外，優(yōu)選的方案是，所述過濾部上的網(wǎng)孔為蜂窩拓撲結(jié)構(gòu)；并且，

所述蜂窩拓撲結(jié)構(gòu)內(nèi)的各正六角形均由六個正三角形拓撲而成。

此外，優(yōu)選的方案是，所述過濾部由具有疏水性質(zhì)的材料制成。

另一方面，本發(fā)明還提供一種MEMS麥克風(fēng)，包括基板、外殼、MEMS芯片以及如上所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置；其中，所述基板與所述外殼之間形成封裝結(jié)構(gòu)，所述MEMS芯片設(shè)置在所述封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)的基板上；并且，在所述基板上開設(shè)有與所述MEMS芯片上下位置對應(yīng)的聲孔，所述微型麥克風(fēng)防塵裝置設(shè)置在所述聲孔外或設(shè)置在所述聲孔與所述MEMS芯片之間。