[發明專利]微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風在審
| 申請號： | 202010621357.7 | 申請日： | 2020-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN111711908A | 公開（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發明（設計）人： | 游振江;林育菁 | 申請（專利權）人： | 歌爾微電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327 | 代理人： | 溫劍;袁文婷 |
| 地址： | 266000 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 麥克風 防塵 裝置 mems | ||
1.一種微型麥克風防塵裝置，其特征在于，包括支撐載體以及設置在所述支撐載體上的進入保護膜；其中，
所述支撐載體形成有通孔，所述進入保護膜覆蓋所述通孔；并且，
所述進入保護膜包括設置在所述支撐載體上的第一保護層以及固定在所述第一保護層上的第二保護層，其中，所述第一保護層與所述第二保護層的材質不同。
2.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述進入保護膜還包括設置在所述第二保護層上的第三保護層，所述第三保護層與所述第二保護層的材質不同。
3.如權利要求2所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述支撐載體為聚合物制件，所述第一保護層為金屬制件，所述第二保護層為聚合物制件，所述第三保護層為金屬制件。
4.如權利要求2述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述支撐載體為聚合物制件，所述第一保護層為聚合物制件，所述第二保護層為金屬制件，所述第三保護層為聚合物制件。
5.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述第一保護層包括連接部和過濾部，所述過濾部通過所述連接部與所述支撐載體相連；并且，
所述過濾部與所述通孔上下位置對應。
6.如權利要求5所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述過濾部與所述通孔的橫截面均為圓形結構；并且，
所述過濾部上的網孔為圓形、多邊形或異形結構。
7.如權利要求6所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述過濾部上的網孔為蜂窩拓撲結構；并且，
所述蜂窩拓撲結構內的各正六角形均由六個正三角形拓撲而成。
8.如權利要求7所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述過濾部由具有疏水性質的材料制成。
9.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括基板、外殼、MEMS芯片以及如權利要求1至8中任意一項所述的微型麥克風防塵裝置；其中，
所述基板與所述外殼之間形成封裝結構，所述MEMS芯片設置在所述封裝結構內的基板上；并且，
在所述基板上開設有與所述MEMS芯片上下位置對應的聲孔，所述微型麥克風防塵裝置設置在所述聲孔外或設置在所述聲孔與所述MEMS芯片之間。
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