[發(fā)明專利]功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)及其安裝標(biāo)定方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010621064.9
• 申請(qǐng)日: 2020-07-01
• 公開（公告）號(hào): CN111720599B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙梁玉;王艾琳;王興剛;周明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 強(qiáng)一半導(dǎo)體（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): F16K17/06
• 分類號(hào): F16K17/06;G01R1/067;G01R31/26
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明一種功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)及其安裝標(biāo)定方法屬于半導(dǎo)體器件測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域；泄壓孔底部還設(shè)置有調(diào)節(jié)閥，包括三層階梯，下層階梯的截面直徑大于泄壓孔截面直徑，中層階梯的截面直徑與泄壓孔截面直徑為間隙配合關(guān)系，上層階梯套有螺紋；泄壓孔內(nèi)壁攻有螺紋，并旋擰有調(diào)整件，調(diào)整件包括接觸端，連接端和螺紋端，接觸端為環(huán)形，外壁套有螺紋，旋擰在泄壓孔的內(nèi)壁，連接端為多個(gè)，每個(gè)連接端均連接在接觸端內(nèi)壁與螺紋端之間，螺紋端外壁套有螺紋，彈簧分別連接在上層階梯外壁與螺紋端外壁之間；本發(fā)明應(yīng)用于功率器件高溫高壓測(cè)試探針卡，能夠同時(shí)抑制高電壓環(huán)境下探針之間非正常放電和高溫度環(huán)境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明一種功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)及其安裝標(biāo)定方法屬于半導(dǎo)體器件測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

隨著MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，小型化高功率器件的產(chǎn)量逐年攀升。很多器件要在高電壓和高溫度環(huán)境下進(jìn)行工作。確保這些器件能夠在如此惡劣環(huán)境下正常工作，需要用探針卡對(duì)其性能進(jìn)行測(cè)試。

功率器件測(cè)試的一項(xiàng)重要指標(biāo)是擊穿電壓，該電壓可以高達(dá)幾千伏，在如此高電壓下進(jìn)行測(cè)試，探針卡的探針之間就可能產(chǎn)生非正常放電現(xiàn)象，瞬間就可以損壞測(cè)試設(shè)備以及被測(cè)晶圓。

功率器件測(cè)試的另一項(xiàng)重要指標(biāo)是工作溫度，一般來講，測(cè)試芯片要求在-40攝氏度到125攝氏度之間均能夠正常工作，而汽車領(lǐng)域中的部分芯片，要求其能夠在180攝氏度以上的環(huán)境下正常工作，那么我們就需要對(duì)其在180攝氏度以上的工作情況進(jìn)行測(cè)試。由于探針卡各部件之間存在熱膨脹系數(shù)差異，從室溫到180攝氏度以上的溫度變化會(huì)造成探針卡的翹曲變形和探針的位置漂移，這不僅降低了測(cè)試效果和效率，嚴(yán)重時(shí)甚至造成測(cè)試失敗、探針卡損傷等問題。

可見，如何抑制高電壓環(huán)境下探針之間非正常放電現(xiàn)象，以及如何抑制高溫度環(huán)境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移，是現(xiàn)階段功率器件測(cè)試探針卡技術(shù)亟待解決的關(guān)鍵技術(shù)問題，然而，目前還沒有發(fā)現(xiàn)能夠同時(shí)突破這兩個(gè)技術(shù)難題的探針卡。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述問題，本發(fā)明公開了一種功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)及其安裝標(biāo)定方法，該項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用于功率器件高溫高壓測(cè)試探針卡，不僅能夠抑制高電壓環(huán)境下探針之間非正常放電現(xiàn)象，而且能夠抑制高溫度環(huán)境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)，在進(jìn)氣系統(tǒng)上設(shè)置有泄壓孔，所述泄壓孔底部還設(shè)置有調(diào)節(jié)閥；所述調(diào)節(jié)閥為三層階梯結(jié)構(gòu)，包括截面直徑依次減小的下層階梯、中層階梯和上層階梯，所述下層階梯和中層階梯之間設(shè)置有密封圈，下層階梯的截面直徑大于泄壓孔截面直徑，中層階梯的截面直徑與泄壓孔截面直徑之間為間隙配合關(guān)系，上層階梯套有螺紋；所述泄壓孔內(nèi)壁攻有螺紋，并旋擰有調(diào)整件，所述調(diào)整件包括接觸端，連接端和螺紋端，所述接觸端為環(huán)形，外壁套有螺紋，旋擰在泄壓孔的內(nèi)壁，所述連接端為多個(gè)，在圓周方向均勻分布，每個(gè)連接端均連接在接觸端內(nèi)壁與螺紋端之間，所述螺紋端外壁套有螺紋，且與上層階梯的螺紋參數(shù)相同，螺紋端底部設(shè)置有一字或十字凹槽，彈簧分別連接在上層階梯外壁與螺紋端外壁之間。

功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)的安裝方法，包括以下步驟：

步驟a、將調(diào)整件的接觸端旋擰入泄壓孔中；

步驟b、將彈簧的上端旋擰在調(diào)整件的螺紋端，將彈簧的下端旋擰在調(diào)節(jié)閥的上層階梯。

功率器件測(cè)試探針卡用彈簧式泄壓結(jié)構(gòu)的標(biāo)定方法，包括以下步驟：

步驟a、設(shè)定高溫高壓氣體壓強(qiáng)閾值；

步驟b、將調(diào)整件的接觸端旋擰入泄壓孔中；

步驟c、將彈簧的上端旋擰在調(diào)整件的螺紋端，將彈簧的下端旋擰在調(diào)節(jié)閥的上層階梯，將調(diào)節(jié)閥的下端連接拉力測(cè)量裝置；