[發明專利]功率器件測試探針卡用彈簧式泄壓結構及其安裝標定方法

有效

• 申請號: 202010621064.9
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN111720599B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 趙梁玉;王艾琳;王興剛;周明
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16K17/06
• 分類號: F16K17/06;G01R1/067;G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.功率器件測試探針卡用彈簧式泄壓結構的標定方法，在功率器件測試探針卡用彈簧式泄壓結構上實現；

所述功率器件測試探針卡用彈簧式泄壓結構在進氣系統（1）上設置有泄壓孔（1-3），所述泄壓孔（1-3）底部還設置有調節閥（1-4）；所述調節閥（1-4）為三層階梯結構，包括截面直徑依次減小的下層階梯（1-4-1）、中層階梯（1-4-2）和上層階梯（1-4-3），所述下層階梯（1-4-1）和中層階梯（1-4-2）之間設置有密封圈（1-4-4），下層階梯（1-4-1）的截面直徑大于泄壓孔（1-3）截面直徑，中層階梯（1-4-2）的截面直徑與泄壓孔（1-3）截面直徑之間為間隙配合關系，上層階梯（1-4-3）套有螺紋；所述泄壓孔（1-3）內壁攻有螺紋，并旋擰有調整件（1-5），所述調整件（1-5）包括接觸端（1-5-1），連接端（1-5-2）和螺紋端（1-5-3），所述接觸端（1-5-1）為環形，外壁套有螺紋，旋擰在泄壓孔（1-3）的內壁，所述連接端（1-5-2）為多個，在圓周方向均勻分布，每個連接端（1-5-2）均連接在接觸端（1-5-1）內壁與螺紋端（1-5-3）之間，所述螺紋端（1-5-3）外壁套有螺紋，且與上層階梯（1-4-3）的螺紋參數相同，螺紋端（1-5-3）底部設置有一字或十字凹槽，彈簧（1-6）分別連接在上層階梯（1-4-3）外壁與螺紋端（1-5-3）外壁之間；

其特征在于，

所述功率器件測試探針卡用彈簧式泄壓結構的標定方法包括以下步驟：

步驟a、設定高溫高壓氣體壓強閾值；

步驟b、將調整件（1-5）的接觸端（1-5-1）旋擰入泄壓孔（1-3）中；

步驟c、將彈簧（1-6）的上端旋擰在調整件（1-5）的螺紋端（1-5-3），將彈簧（1-6）的下端旋擰在調節閥（1-4）的上層階梯（1-4-3），將調節閥（1-4）的下端連接拉力測量裝置；

步驟d、拉動拉力測量裝置，彈簧伸長，至拉力測量裝置顯示的拉力數值除以中層階梯（1-4-2）截面直徑等于壓強閾值的位置；

步驟e、測量進氣系統（1）底部距離中層階梯（1-4-2）的距離；

步驟f、拆卸拉力測量裝置、調節閥（1-4）和彈簧（1-6）；

步驟g、旋擰調整件（1-5），使調整件（1-5）沿泄壓孔（1-3）向上運動步驟e所述的距離；

步驟h、將彈簧（1-6）的上端旋擰在調整件（1-5）的螺紋端（1-5-3），將彈簧（1-6）的下端旋擰在調節閥（1-4）的上層階梯（1-4-3）。