[發明專利]一種用于微型發光單元的轉移裝置及轉移方法

有效

• 申請號: 202010619205.3
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111739902B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 李坤;孫雷蒙;楊丹
• 申請（專利權）人: 華引芯（武漢）科技有限公司
• 主分類號: H01L27/15
• 分類號: H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62
• 代理公司: 杭州宇信知識產權代理事務所(普通合伙) 33231
• 代理人: 張宇娟

本發明公開了一種用于微型發光單元的轉移裝置及轉移方法，屬于光電子技術領域。在實現時，先將微型發光單元按要求布置在置樣板的UV膜上，由于UV膜有一定的粘性，可以對微型發光單元起到固定作用。通過固晶臂的真空氣路將置樣板吸附在玻璃壓板上，并將置樣板轉移到固晶區進行固晶。待固晶操作完成，通過UV面光源的照射，使得UV膜失去粘性，完成對微型發光單元釋放。該轉移裝置可以與常規固晶機的固晶臂配合使用，即可完成微型發光單元的轉移，改裝成本低，操作簡便，轉移效率高。同時，由于先進行微型發光單元的固晶再進行微型發光單元的釋放，使得微型發光單元是在固定的狀態下進行固晶，從而增加了微型發光單元固定的準確性和可靠性。

技術領域

本發明涉及光電子技術領域，特別涉及一種用于微型發光單元的轉移裝置及轉移方法。

背景技術

顯示屏最直觀的體驗就是畫質和顯示效果，近年來，各種戶外與室內顯示應用場所皆對顯示屏的分辨率、對比度和色彩管理等規格提出更高的要求，而傳統LCD屏無法滿足需求，同時也陷入了激烈的價格戰中。因此，行業廠商轉而開發Mini/Micro?LED等新型顯示技術。

Mini?LED是50-200μm尺寸LED晶體的應用，這種更小的晶體顆粒，幾乎是傳統尺寸LED晶體顆粒原料耗費的十分之一。更小顆粒的Mini?LED雖說節約了上游成本，縮小了下游終端像素間距指標，可實現0.2～0.9mm像素顆粒的極小間距顯示屏，但這也意味著為中游封裝技術帶來了更高的技術挑戰，而新一代Mini?LED產品要成功落地必須克服這個挑戰。

Mini?LED微型發光單元的巨量轉移方式有多種，目前主要采用的是抓放技術類。抓放技術主要是通過靜電力、范德華力、電磁力等吸附微型發光單元進行轉移，但由于需要產生這些吸附力，因此通常都要采用新的專用設備才能實現，使得轉移成本高，工藝復雜，不利于量產化進程。

發明內容

為了解決轉移成本高，工藝復雜的問題，本發明實施例提供了一種用于微型發光單元的轉移裝置及轉移方法。所述技術方案如下：

一方面，本發明實施例提供了一種用于微型發光單元的轉移裝置，所述轉移裝置與固晶機的固晶臂配合，所述固晶臂具有一開口和與所述開口連通的容置腔，所述轉移裝置包括：

UV面光源，所述UV面光源置于所述固晶臂的所述容置腔內，所述UV面光源的發光方向朝向所述開口，所述UV面光源與所述固晶臂控制系統電連接；

玻璃壓板，所述玻璃壓板固定在所述開口上，所述玻璃壓板的上環形布置有多個真空孔，所述真空孔與所述固晶臂的真空氣路相連；以及

置樣板，所述置樣板分為環形連接板和UV膜，所述環形連接板用于真空吸附在所述玻璃壓板上，所述UV膜位于所述環形連接板的中空區域內，所述UV膜用于固定和釋放所述微型發光單元。

另一方面，本發明實施例還提供了一種用于微型發光單元的轉移方法，所述方法包括：

吸取置樣板；

將所述置樣板移動至固晶區；

對所述置樣板上的微型發光單元進行固晶操作；

開啟UV面光源，對所述置樣板的UV膜進行照射；

所述玻璃壓板上移，完成所述微型發光單元與所述置樣板的分離。

本發明實施例提供的技術方案帶來的有益效果至少包括：