[發明專利]一種用于微型發光單元的轉移裝置及轉移方法

有效

• 申請號: 202010619205.3
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111739902B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 李坤;孫雷蒙;楊丹
• 申請（專利權）人: 華引芯（武漢）科技有限公司
• 主分類號: H01L27/15
• 分類號: H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62
• 代理公司: 杭州宇信知識產權代理事務所(普通合伙) 33231
• 代理人: 張宇娟

1.一種用于微型發光單元的轉移裝置，其特征在于，所述轉移裝置與固晶機的固晶臂配合，所述固晶臂具有一開口和與所述開口連通的容置腔，所述轉移裝置包括：

UV面光源，所述UV面光源置于所述固晶臂的所述容置腔內，所述UV面光源的發光方向朝向所述開口，所述UV面光源與所述固晶臂控制系統電連接；

玻璃壓板，所述玻璃壓板固定在所述開口上，所述玻璃壓板的上環形布置有多個真空孔，所述真空孔與所述固晶臂的真空氣路相連；以及

置樣板，所述置樣板分為環形連接板和UV膜，所述環形連接板用于真空吸附在所述玻璃壓板上，所述UV膜位于所述環形連接板的中空區域內，所述UV面光源照射在所述UV膜上，所述UV膜用于固定和釋放所述微型發光單元，所述固定為所述UV膜利用粘性固定所述微型發光單元，所述釋放為所述UV膜通過所述UV面光源照射喪失粘性，釋放所述微型發光單元。

2.根據權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述UV面光源平行于所述固晶臂橫截面布置，所述UV面光源由多個UV發光單元組成，所述多個UV發光單元呈等間距交錯排布。

3.根據權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述玻璃壓板具有凸起，所述凸起的凸起方向與遠離所述固晶臂的方向一致，所述環形連接板的中空區域與所述凸起匹配。

4.根據權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述玻璃壓板上具有定位針，所述環形連接板上具有對應的定位孔。

5.根據權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，UV膜為聚酯薄膜。

6.一種用于微型發光單元的轉移方法，適用于權利要求1~5任一項所述的轉移裝置，其特征在于，所述轉移方法包括：

吸取置樣板；

將所述置樣板移動至固晶區；

對所述置樣板上的微型發光單元進行固晶操作；

開啟UV面光源，對所述置樣板的UV膜進行照射；

玻璃壓板上移，完成所述微型發光單元與所述置樣板的分離。

7.根據權利要求6所述的轉移方法，其特征在于，所述UV面光源的UV波段為365~385nm，對所述UV膜的照射時間為5~40s。

8.根據權利要求6所述的轉移方法，其特征在于，所述吸取置樣板包括：

玻璃壓板移動到取樣區；

下移所述玻璃壓板，當所述玻璃壓板接觸到所述置樣板時，打開真空開關，通過所述玻璃壓板上的真空孔吸取置樣板。

9.根據權利要求6-8任一項所述的轉移方法，其特征在于，在吸取置樣板之前還包括置樣板的制作，所述置樣板的制作方法包括：

制作環形連接板；

將UV膜無粘性的一面固定在所述環形連接板上；

將所述微型發光單元排布在UV膜有粘性的一面上。

10.根據權利要求6-8任一項所述的轉移方法，其特征在于，在對所述置樣板上的微型發光單元進行固晶操作之前還包括基板的制作，所述基板的制作方法包括：

對基板進行清洗和干燥；

在基板上制作連接孔、正面焊盤及背面焊盤；

在所述正面焊盤上開設凹槽，所述凹槽的中部深度為3~5μm，所述凹槽的兩側呈曲面或斜面；

在所述正面焊盤上印刷助焊劑。