[發(fā)明專(zhuān)利]一種背鉆偏位測(cè)試板及測(cè)試方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010616376.0
• 申請(qǐng)日: 2020-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111722087A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋清;文貴宜;劉夢(mèng)茹;唐海波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 生益電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李赫

1.一種背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，包括至少一組測(cè)試單元，每組測(cè)試單元包括至少兩個(gè)未金屬化的背鉆孔、一個(gè)金屬化的第一測(cè)試孔、至少一個(gè)金屬化的第二測(cè)試孔；

各個(gè)所述背鉆孔的背鉆深度、背鉆孔徑以及背鉆方向均相同；

所述第二測(cè)試孔與待測(cè)試的所述背鉆孔的背鉆鉆穿層的數(shù)量相同，且呈一一映射關(guān)系；

每層所述背鉆鉆穿層上，形成有一測(cè)試線路，所述測(cè)試線路分別電連接所述第一測(cè)試孔和與當(dāng)前背鉆鉆穿層相對(duì)應(yīng)的第二測(cè)試孔；

所述測(cè)試線路，包括串聯(lián)的多條線段和至少兩條具有不同開(kāi)口方向的環(huán)形段，每條所述環(huán)形段環(huán)繞于一個(gè)所述背鉆孔的外周，且所述環(huán)形段的圓心位置與對(duì)應(yīng)環(huán)繞的所述背鉆孔的標(biāo)準(zhǔn)孔心位置相重合，所述環(huán)形段的外環(huán)邊與對(duì)應(yīng)的所述背鉆孔的孔邊的距離為預(yù)設(shè)距離能力值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，每組所述測(cè)試單元包括兩個(gè)所述背鉆孔，所述測(cè)試線路包括兩條所述環(huán)形段，每條所述環(huán)形段環(huán)繞于一個(gè)所述背鉆孔的外周。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，兩條所述環(huán)形段的開(kāi)口方向相反。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，所述環(huán)形段的內(nèi)環(huán)邊，與對(duì)應(yīng)環(huán)繞的所述背鉆孔的孔邊之間，形成有預(yù)設(shè)間隙。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，所述背鉆偏位測(cè)試板包括外層；位于所述外層的所述背鉆鉆穿層上，除所述測(cè)試單元以外的區(qū)域全部為基材區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，所述背鉆偏位測(cè)試板包括內(nèi)層；位于所述內(nèi)層的所述背鉆鉆穿層上，除所述測(cè)試單元以外的區(qū)域全部為銅皮區(qū)域，且所述測(cè)試單元與除所述測(cè)試單元以外的區(qū)域之間形成有基材隔離區(qū)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背鉆偏位測(cè)試板，其特征在于，所述背鉆偏位測(cè)試板至少包括兩組所述測(cè)試單元；

針對(duì)位于同一層的所述背鉆鉆穿層，各組所述測(cè)試單元的預(yù)設(shè)距離能力值不相同，且按照預(yù)設(shè)步長(zhǎng)增加或者減小。

8.一種背鉆偏位測(cè)試方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1至6任一所述的背鉆偏位測(cè)試板，包括步驟：

對(duì)每組所述測(cè)試單元的所述第一測(cè)試孔和所述第二測(cè)試孔進(jìn)行開(kāi)路測(cè)試；若所述第一測(cè)試孔和所述第二測(cè)試孔的測(cè)試結(jié)果為開(kāi)路，則判定：于形成開(kāi)路的第二測(cè)試孔對(duì)應(yīng)的背鉆鉆穿層，所述背鉆孔已偏位達(dá)到或者超過(guò)所述預(yù)設(shè)距離能力值。

9.一種背鉆偏位測(cè)試方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求7所述的背鉆偏位測(cè)試板，包括步驟：

對(duì)每組所述測(cè)試單元的所述第一測(cè)試孔和所述第二測(cè)試孔分別進(jìn)行開(kāi)路測(cè)試；若所述第一測(cè)試孔和所述第二測(cè)試孔的測(cè)試結(jié)果為開(kāi)路，則判定：于形成開(kāi)路的第二測(cè)試孔對(duì)應(yīng)的背鉆鉆穿層，所述背鉆孔已偏位達(dá)到或者超過(guò)所述預(yù)設(shè)距離能力值；

結(jié)合各組所述測(cè)試單元的開(kāi)路測(cè)試結(jié)果，確定背鉆孔的偏位區(qū)間。