[發明專利]一種MPCVD金剛石合成設備供水保護系統及方法

在審

• 申請號: 202010615974.6
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111707042A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 黃翀;唐躍強
• 申請（專利權）人: 長沙新材料產業研究院有限公司
• 主分類號: F25D17/02
• 分類號: F25D17/02;F25D29/00;C23C16/46
• 代理公司: 武漢智匯為專利代理事務所(普通合伙) 42235
• 代理人: 李恭渝

本發明的一種MPCVD金剛石合成設備供水保護系統及方法，包括冷水機、管道、MPCVD金剛石合成設備，所述冷水機通過管道與MPCVD金剛石合成設備組成冷水循環回路，還包括控制系統，所述控制系統包括水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置、報警裝置和控制中心，所述水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置設于冷水循環回路上,所述控制中心設有輸入端和輸出端，所述輸入端與水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置電連接，所述輸出端與報警裝置電連接。在MPCVD金剛石合成設備工作過程中，可通過對MPCVD合成設備冷卻水各主要技術參數的實時監控，及時發現冷卻水的各類異常狀況，并根據異常狀態進行調節以保障設備在最佳狀態工作。

技術領域

本發明涉及智能制造領域，特別涉及一種MPCVD金剛石合成設備供水保護系統。

背景技術

MPCVD金剛石合成過程需要利用冷卻水對微波電源、微波頭、反應腔體、水負載、基板臺等多個模塊和部件進行冷卻或吸收反射微波功率，因此保障冷卻水的安全供應是MPCVD金剛石合成設備正常工作的重要前提。

由于目前MPCVD金剛石合成設備的智能化程度較低，無法對冷卻水的供應情況進行實施監測和處置，因此設備的安全使用，特別是設備在無人值守情況下的安全使用存在重大隱患。

發明內容

本發明為了克服現有技術的缺點，提出一種MPCVD金剛石合成設備供水保護系統及方法，通過控制系統，實現冷水循環回路關鍵技術參數的監控，在冷水循環回路發生故障時進行分級別處理，在發生重大故障時及時切斷微波電源供電甚至是設備供電，保障設備安全。

本發明的一種MPCVD金剛石合成設備供水保護系統，包括冷水機、管道、MPCVD金剛石合成設備，所述冷水機通過管道與MPCVD金剛石合成設備組成冷水循環回路，還包括控制系統，

所述控制系統包括水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置、報警裝置和控制中心，所述水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置設于冷水循環回路上,所述控制中心設有輸入端和輸出端，所述輸入端與水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置電連接，所述輸出端與報警裝置電連接。

進一步具體地，所述冷水機上設有第一進水口和第一出水口，所述MPCVD金剛石合成設備上設有第二進水口和第二出水口，所述第一進水口、第一出水口分別通過管道與第二出水口、第二進水口連通，所述水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置設于第二進水口與管道之間。

進一步地，所述冷水機與控制中心通訊連接。

具體地，所述冷水機與控制中心的通訊方式為串口通訊或USB通訊。

進一步地，還包括供電管理系統，所述供電管理系統上設有設備總電源管理模塊、微波電源管理模塊、冷水機電源管理模塊，

所述設備總電源管理模塊與控制中心電連接，所述微波電源管理模塊與控制中心電連接，所述微波電源管理模塊還與MPCVD金剛石合成設備的微波頭電連接，所述冷水機電源管理模塊與冷水機和控制中心電連接。

進一步地，所述設備總電源管理模塊、微波電源管理模塊、冷水機電源管理模塊為繼電器或可控硅。

更進一步地，所述冷水循環回路上還設有調節閥，所述調節閥與控制中心電連接。

進一步優選地，所述調節閥設于第一出水口與管道之間。

進一步地，所述報警裝置為蜂鳴器、三色燈、發光二極管中的任一種。

進一步優選地，所述報警裝置為三色燈。

進一步地，所述控制中心包括控制計算機和信號接收處理模塊。

根據控制系統采用的保護方法，包括以下步驟：