[發(fā)明專利]一種MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010615974.6
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111707042A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃翀;唐躍強
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙新材料產(chǎn)業(yè)研究院有限公司
• 主分類號: F25D17/02
• 分類號: F25D17/02;F25D29/00;C23C16/46
• 代理公司: 武漢智匯為專利代理事務(wù)所(普通合伙) 42235
• 代理人: 李恭渝

1.一種MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，包括冷水機、管道、MPCVD金剛石合成設(shè)備，所述冷水機通過管道與MPCVD金剛石合成設(shè)備組成冷水循環(huán)回路，其特征在于還包括控制系統(tǒng)，

所述控制系統(tǒng)包括水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置、報警裝置和控制中心，所述水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置設(shè)于冷水循環(huán)回路上,所述控制中心設(shè)有輸入端和輸出端，所述輸入端與水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置電連接，所述輸出端與報警裝置電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，其特征在于：所述冷水機上設(shè)有第一進水口和第一出水口，所述MPCVD金剛石合成設(shè)備上設(shè)有第二進水口和第二出水口，所述第一進水口、第一出水口分別通過管道與第二出水口、第二進水口連通，所述水溫測量裝置、水壓測量裝置、水流量測量裝置設(shè)于第二進水口與管道之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，其特征在于：所述冷水機與控制中心通訊連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，其特征在于：還包括供電管理系統(tǒng)，所述供電管理系統(tǒng)上設(shè)有設(shè)備總電源管理模塊、微波電源管理模塊、冷水機電源管理模塊，

所述設(shè)備總電源管理模塊與控制中心電連接，所述微波電源管理模塊與控制中心電連接，所述微波電源管理模塊還與MPCVD金剛石合成設(shè)備的微波頭電連接，所述冷水機電源管理模塊與冷水機和控制中心電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，其特征在于：所述冷水循環(huán)回路上還設(shè)有調(diào)節(jié)閥，所述調(diào)節(jié)閥與控制中心電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護系統(tǒng)，其特征在于：所述報警裝置為蜂鳴器、三色燈、發(fā)光二極管中的任一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的系統(tǒng)的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護方法，其特征在于包括以下步驟：

S1、開啟冷水機、MPCVD金剛石合成設(shè)備、控制系統(tǒng)，所述冷水機與MPCVD金剛石合成設(shè)備組成冷水循環(huán)回路，所述控制系統(tǒng)監(jiān)測冷水循環(huán)回路中的冷卻水狀態(tài)是否正常，若不正常進入步驟S2；

S2、通過控制系統(tǒng)對MPCVD金剛石合成設(shè)備進行保護。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護方法，其特征在于所述冷卻水狀態(tài)包括冷卻水的水溫、水壓、水流量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護方法，其特征在于步驟S2中，

所述控制系統(tǒng)若監(jiān)測冷卻水水溫出現(xiàn)異常后，通過控制中心向冷水機發(fā)送相應(yīng)指令進行溫度調(diào)節(jié)，若通過冷水機無法將水溫調(diào)節(jié)至正常工作范圍，控制中心對微波頭電源功率進行相應(yīng)調(diào)節(jié)，并通過報警裝置發(fā)送報警信號進行提醒；

所述控制系統(tǒng)若監(jiān)測冷卻水水壓出現(xiàn)異常后，通過控制中心向冷水機發(fā)送相應(yīng)指令進行水壓調(diào)節(jié)，若通過冷水機無法將水壓調(diào)節(jié)至正常工作范圍，控制中心將關(guān)閉微波頭電源，并保持冷水機工作，同時通過報警裝置進行提醒；

所述控制系統(tǒng)若監(jiān)測冷卻水水流量出現(xiàn)異常后，通過控制中心向冷水機或調(diào)節(jié)閥發(fā)送相應(yīng)指令進行水流量調(diào)節(jié)，若無法將水流量調(diào)節(jié)至正常工作范圍，控制中心將關(guān)閉微波頭電源，并保持冷水機工作，同時通過報警裝置進行提醒。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的MPCVD金剛石合成設(shè)備供水保護方法，其特征在于所述控制系統(tǒng)若監(jiān)測冷卻水水壓出現(xiàn)大于70Kpa的壓力下降時，立即關(guān)閉MPCVD金剛石合成設(shè)備總電源和冷水機電源。