[發明專利]一種晶圓光刻設備

在審

• 申請號: 202010615581.5
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111722478A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 王濤
• 申請（專利權）人: 廣州聰慧青貿易有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓光刻設備，其結構包括主體(1)、控制面板(2)、進料口(3)、光刻塊(4)、顯影裝置(5)，所述主體(1)的前端設有控制面板(2)，所述進料口(3)設置在主體(1)的左側，所述光刻塊(4)位于主體(1)的一端，所述顯影裝置(5)設置在主體(1)的另一端，其特征在于：

所述顯影裝置(5)包括光蝕劑回收箱(51)、晶圓收集箱(52)、傳送帶(53)、載盤(54)、滑動桿(55)、噴料裝置(56)，所述光蝕劑回收箱(51)安裝在顯影裝置(5)的底部一端，所述晶圓收集箱(52)安裝在顯影裝置(5)的底部另一端，所述傳送帶(53)設置在光蝕劑回收箱(51)的正上方，所述載盤(54)設有十個以上，且橫向安裝在傳送帶(53)的上端，所述滑動桿(55)嵌固在顯影裝置(5)的頂部兩端，所述噴料裝置(56)安裝在滑動桿(55)中，且與滑動桿(55)螺紋配合。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述噴料裝置(56)包括橫向滑動塊(561)、限位塊(562)、旋轉塊(563)、螺紋桿(564)、通料管(565)、出料裝置(566)，所述滑動塊(561)的前端正中間設有限位塊(562)，所述旋轉塊(563)安裝在滑動塊(561)的底部前端，所述螺紋桿(564)垂直安裝在限位塊(562)與旋轉塊(563)之間，所述通料管(565)連接于螺紋桿(564)的頂部，所述出料裝置(566)焊接在螺紋桿(564)的底部。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述出料裝置(566)包括通料槽(a1)、噴料頭(a2)、凹槽(a3)、動力噴頭(a4)、刷渣裝置(a5)，所述通料槽(a1)設置在出料裝置(566)的內部，所述噴料頭(a2)嵌固在通料槽(a1)的底部，所述凹槽(a3)設置在通料槽(a1)的側端，所述動力噴頭(a4)安裝在凹槽(a3)的頂部，所述刷渣裝置(a5)卡合在凹槽(a3)的水平兩側。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述刷渣裝置(a5)包括擋料裝置(a51)、轉桿(a52)、刷子(a53)，所述擋料裝置(a51)設置在刷渣裝置(a5)的側端，所述轉桿(a52)連接于擋料裝置(a51)的側端，所述刷子(a53)安裝在轉桿(a52)的側端。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述擋料裝置(a51)包括載體(b1)、擋料板(b2)、集料槽(b3)、蓋板(b4)、排料頭(b5)，所述載體(b1)為圓柱狀，所述擋料板(b2)設有四個，且均勻環繞于載體(b1)排列，所述集料槽(b3)設置在擋料板(b2)的內部，所述蓋板(b4)卡合在集料槽(b3)的上端，所述排料頭(b5)安裝在集料槽(b3)的末端。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述蓋板(b4)包括集料孔(b41)、進料頭(b42)、安裝槽(b43)、復位彈簧(b44)、卡塊(b45)，所述集料孔(b41)設有五個以上，且橫向在列在蓋板(b4)的內部，所述進料頭(b42)設有五個以上，分別安裝在集料孔(b41)的上端，所述安裝槽(b43)設有兩個，分別設于蓋板(b4)的左右兩側，所述復位彈簧(b44)設有四個，且分別嵌固在安裝槽(b43)的內側，所述卡塊(b45)設有兩個，卡合在安裝槽(b43)中，且與復位彈簧(b44)活動配合。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓光刻設備，其特征在于：所述進料頭(b42)包括進料體(c1)、斜板(c2)、凸塊(c3)、穿孔(c4)，所述進料體(c1)的內側四周設有斜板(c2)，所述斜板(c2)與水平面之間的夾角為15度，所述凸塊(c3)設有八個以上，且分為兩組嵌固在斜板(c2)上，所述穿孔(c4)設置在四個斜板(c2)的正中間。