[發明專利]加熱燈的位置校正裝置

有效

• 申請號: 202010611457.1
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111725114B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 李曉軍
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發明提供一種加熱燈的位置校正裝置，包括校正插件和座體，座體上開設有限位槽和容納槽，其中，限位槽用于與加熱燈的燈座組件配合，限定座體與燈座組件的相對位置，其中，加熱燈安裝在燈座組件上；容納槽用于在座體與燈座組件的相對位置被限定后，容納加熱燈；校正插件用于在加熱燈容納在容納槽后，沿與加熱燈的軸向相交的方向插入容納槽，限定加熱燈與燈座組件的相對位置。本發明提供的加熱燈的位置校正裝置能夠提高加熱燈與燈座組件安裝的一致性，從而提高加熱燈的使用壽命，提高熱場的均勻性，提高外延片電阻率的均勻性。

技術領域

本發明涉及半導體加工設備技術領域，具體地，涉及一種加熱燈的位置校正裝置。

背景技術

如圖1-圖5所示，在半導體外延工藝中，通常由分別設置在待加工襯底12上下兩側的加熱裝置對襯底12進行加熱，每個加熱裝置由多個加熱燈組件11組成，多個加熱燈組件11均勻間隔的設置于同一圓周上，通過加熱燈組件11發出的光對襯底12進行加熱。

如圖1-圖5所示，現有的每個加熱燈組件11包括加熱燈13和燈座組件14，其中，燈座組件14包括燈座本體141、燈座支架142、燈座支架安裝板143，加熱燈13與燈座本體141插接，燈座支架142為彎折的鈑金件，燈座本體141通過螺釘固定在燈座支架142上，燈座支架142與燈座支架安裝板143通過緊固螺釘15固定，在組裝加熱燈組件11時，通過調節燈座支架142與燈座支架安裝板143的相對位置，以調節加熱燈13的光照方向。

在實際應用中，燈座支架142折彎的精度以及燈座支架142與燈座支架安裝板143之間的安裝偏差都會影響加熱燈13的光照方向，圖2示出兩個安裝有偏差的加熱燈組件16，這兩個安裝有偏差的加熱燈組件16中的加熱燈13的中心線會偏離襯底12的中心，并與其它加熱燈組件11中的加熱燈13之間的間距不均勻，從而導致使用壽命降低，并影響熱場均勻性，進而影響外延片電阻率的均勻性。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種加熱燈的位置校正裝置，其能夠提高加熱燈與燈座組件安裝的一致性，從而提高加熱燈的使用壽命，提高熱場的均勻性，提高外延片電阻率的均勻性。

為實現本發明的目的而提供一種加熱燈的位置校正裝置，包括校正插件和座體，所述座體上開設有限位槽和容納槽，其中，

所述限位槽用于與加熱燈的燈座組件配合，限定所述座體與所述燈座組件的相對位置，其中，所述加熱燈安裝在所述燈座組件上；

所述容納槽用于在所述座體與所述燈座組件的相對位置被限定后，容納所述加熱燈；

所述校正插件用于在所述加熱燈容納在所述容納槽后，沿與所述加熱燈的軸向相交的方向插入所述容納槽，限定所述加熱燈與所述燈座組件的相對位置。

優選的，所述校正插件包括插件本體和在所述插件本體上開設的校正槽，其中，

所述插件本體的寬度與所述容納槽的寬度相匹配，使所述校正插件插入所述容納槽時，所述插件本體寬度方向的側壁與所述容納槽的內壁相貼合；

所述校正槽的內壁為自所述校正槽的槽口至槽底逐漸靠近所述校正槽的軸線的斜面，所述校正插件插入所述容納槽時，所述加熱燈進入所述校正槽，所述加熱燈的外周壁與所述校正槽的內壁相切配合，以限定所述加熱燈在所述容納槽中的相對位置，進而限定所述加熱燈與所述燈座組件的相對位置。

優選的，所述校正槽沿寬度方向的兩個內壁相對于所述容納槽的軸線對稱，所述加熱燈進入所述校正槽后，所述加熱燈的外周壁與所述校正槽的內壁相切配合，將所述加熱燈限定在所述容納槽沿寬度方向的中心位置。

優選的，所述燈座組件包括燈座本體、燈座支架、燈座支架安裝板，所述燈座本體安裝在所述燈座支架上，所述燈座支架安裝在所述燈座支架安裝板上；

所述限位槽與所述燈座支架安裝板配合，限定所述座體與所述燈座組件的相對位置。