[發(fā)明專利]光罩和光罩信息讀取方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010611422.8
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111830780A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李玉華;吳長明;姚振海;金樂群;黃發(fā)彬
• 申請（專利權(quán)）人: 華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38;G03F7/20;G06K7/14
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種光罩，其特征在于，所述光罩包括條形碼區(qū)域，所述條形碼區(qū)域中包括：

主體讀取圖案，所述主體讀取圖案用于表達(dá)光罩的主體讀取信息；

起始讀取圖案，所述起始讀取圖案用于表達(dá)起始讀取信息，所述起始讀取信息指示所述主體讀取信息的起始端；

終止讀取圖案，所述終止讀取圖案用于表達(dá)終止讀取信息，所述終止讀取信息用于指示所述主體讀取信息的終止端。

2.如權(quán)利要求1所述的光罩，其特征在于，所述起始讀取圖案為透光的讀取圖案，所述起始讀取圖案與所述主體讀取圖案的起始端之間的距離為7～9mm。

3.如權(quán)利要求1所述的光罩，其特征在于，所述終止讀取圖案為透光讀取圖案，所述終止讀取圖案與所述主體讀取圖案的終止端之間的距離為7～9mm。

4.如權(quán)利要求1所述的光罩，其特征在于，所述主體讀取圖案包括多個寬度不同的遮光條和透光條；從所述主體讀取圖案的起始讀取端至終止讀取端，所述遮光條和透光條依次交替排列設(shè)置。

5.一種光罩信息讀取方法，其特征在于，所述方法包括至少以下步驟：

確定光罩中的條形碼區(qū)域；

使用檢測光沿著特定方向掃描所述條形碼區(qū)域；

將所述條形碼區(qū)域中的光罩信息轉(zhuǎn)換為具有強(qiáng)弱交替變化，和強(qiáng)弱持續(xù)時間變化的透射光信號；

將所述透射光信號轉(zhuǎn)換為具有高低電平交替變化，和高低電平持續(xù)時間變化的電脈沖信號；

對所述電脈沖信號整形為脈沖數(shù)字信號；

確定所述脈沖數(shù)字信號中的起始信號和終止信號；

以所述起始信號為開始對脈沖數(shù)字信號在時域上依次轉(zhuǎn)換成字符，直至所述終止信號。

6.如權(quán)利要求5所述的光罩信息讀取方法，其特征在于，所述確定光罩信息所在的條形碼區(qū)域的步驟，包括：

確定所述條形碼區(qū)域的起始讀取圖案、主體讀取圖案和終止讀取圖案。

7.如權(quán)利要求6所述的光罩信息讀取方法，其特征在于，所述使用檢測光沿著特定方向掃描所述條形碼區(qū)域的步驟，包括：

使用檢測光，按照所述光罩信息在時域上的先后順序，依次掃描起始讀取圖案、主體讀取圖案和終止讀取圖案。

8.如權(quán)利要求6所述的光罩信息讀取方法，其特征在于，所述將所述條形碼區(qū)域中的光罩信息轉(zhuǎn)換為具有強(qiáng)弱交替變化，和強(qiáng)弱持續(xù)時間變化的透射光信號的步驟，包括：

按照檢測光掃描的順序，依次將所述起始讀取圖案、主體讀取圖案和終止讀取圖案中的光罩信息，分別轉(zhuǎn)換為起始光信號、透射主體光信號和透射終止光信號；所述透射主體光信號在時域上具有強(qiáng)弱交替變化，和強(qiáng)弱持續(xù)時間變化。

9.如權(quán)利要求8所述的光罩信息讀取方法，其特征在于，所述將所述透射光信號轉(zhuǎn)換為具有高低電平交替變化，和高低電平持續(xù)時間變化的電脈沖信號的步驟，包括：

依次將所述透射起始光信號、透射主體光信號和透射終止光信號，分別轉(zhuǎn)換為電脈沖起始信號、電脈沖主體信號和電脈沖終止信號；所述電脈沖主體信號在時域上具有高低電平交替變化，和高低電平持續(xù)時間變化。

整形后得到脈沖起始數(shù)字信號、脈沖主體數(shù)字信號和脈沖終止數(shù)字信號。

10.如權(quán)利要求8所述的光罩信息讀取方法，其特征在于，所述確定所述脈沖數(shù)字信號中的起始信號和終止信號的步驟，包括：

根據(jù)所述脈沖起始數(shù)字信號確定所述起始信號；

根據(jù)所述脈沖終止數(shù)字信號確定所述終止信號。