[發(fā)明專利]光罩和光罩信息讀取方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010611422.8
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111830780A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設計）人: 李玉華;吳長明;姚振海;金樂群;黃發(fā)彬
• 申請（專利權）人: 華虹半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38;G03F7/20;G06K7/14
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本申請公開一種光罩和光罩信息讀取方法，涉及半導體集成電路制造技術領域。其中光罩包括條形碼區(qū)域，條形碼區(qū)域中包括：主體讀取圖案、起始讀取圖案和終止讀取圖案。其中方法包括至少以下步驟：確定如本申請第一方面光罩中的條形碼區(qū)域；使用檢測光沿著特定方向掃描條形碼區(qū)域；將條形碼區(qū)域中的光罩信息轉換為具有強弱交替變化，和強弱持續(xù)時間變化的透射光信號；將透射光信號轉換為具有高低電平交替變化，和高低電平持續(xù)時間變化的電脈沖信號；對電脈沖信號整形為脈沖數字信號；確定脈沖數字信號中的起始信號和終止信號；以起始信號為開始對脈沖數字信號在時域上依次轉換成字符，直至終止信號。能夠解決相關技術出現讀取信息無法識別的問題。

技術領域

本申請涉及半導體集成電路制造技術領域，具體涉及一種光罩和光罩信息讀取方法。

背景技術

光罩是制作集成電路重要的工具，利用光罩能夠將已經設計好的電路圖形轉移到硅晶圓上。

通常，光罩的結構包括形成有電路圖形的主體讀取圖案區(qū)域，在主體讀取圖案區(qū)域周圍有形成預對位標記圖形的預對位區(qū)域，形成箭頭標記圖形的箭頭區(qū)域，和形成 條形碼圖形的條碼區(qū)域，預對位標記圖形可用于光刻定位，箭頭標記圖形用于指示光 罩移動的方向，條形碼圖形可用于獲取對應光罩的光罩信息。

在利用光罩將已經設計好的電路圖形轉移到硅晶圓之前，需要讀取光罩信息，確定光罩是否選擇錯誤。然而，相關技術在讀取光罩信息時會出現讀取信息無法識別的 問題。

發(fā)明內容

本申請?zhí)峁┝艘环N光罩和光罩信息讀取方法，可以解決相關技術中讀取光罩信息時會出現讀取信息無法識別的問題。

第一方面，本申請實施例提供了一種光罩，所述光罩包括條形碼區(qū)域，所述條形碼區(qū)域中包括：

主體讀取圖案，所述主體讀取圖案用于表達主體讀取信息；

起始讀取圖案，所述起始讀取圖案用于表達起始讀取信息，所述起始讀取信息指示所述主體讀取信息的起始端；

終止讀取圖案，所述終止讀取圖案用于表達終止讀取信息，所述終止讀取信息用于指示所述主體讀取信息的終止端。

可選地，所述起始讀取圖案為透光的讀取圖案，所述起始讀取圖案與所述主體讀取圖案的起始端之間的最小距離為7～9mm。

可選地，所述終止讀取圖案為透光讀取圖案，所述終止讀取圖案與所述主體讀取圖案的終止端之間的最小距離為7～9mm。

可選地，所述主體讀取圖案包括多個寬度不同的遮光條和透光條；從所述主體讀取圖案的起始讀取端至終止讀取端，所述遮光條和透光條依次交替排列設置。

第二方面，本申請實施例提供一種光罩信息讀取方法，所述方法包括至少以下步驟：

確定如本申請第一方面所述光罩中的條形碼區(qū)域；

使用檢測光沿著特定方向掃描所述條形碼區(qū)域；

將所述條形碼區(qū)域中的光罩信息轉換為具有強弱交替變化，和強弱持續(xù)時間變化的透射光信號；

將所述透射光信號轉換為具有高低電平交替變化，和高低電平持續(xù)時間變化的電脈沖信號；

對所述電脈沖信號整形為脈沖數字信號；

確定所述脈沖數字信號中的起始信號和終止信號；

以所述起始信號為開始對脈沖數字信號在時域上依次轉換成字符，直至所述終止信號。

可選地，所述確定光罩信息所在的條形碼區(qū)域的步驟，包括：

確定所述條形碼區(qū)域的起始讀取圖案、主體讀取圖案和終止讀取圖案。

可選地，所述使用檢測光沿著特定方向掃描所述條形碼區(qū)域的步驟，包括：