[發明專利]一種太陽能電池及其制備方法

在審

• 申請號: 202010610350.5
• 申請日: 2020-06-29
• 公開（公告）號: CN111668345A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 熊詩龍;金井升
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科綠能(上海)管理有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 錢嫻靜

1.一種太陽能電池制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)對制絨后的硅片進行正面硼擴散，形成硼擴散層及硼硅玻璃層；

(2)對所述硅片進行背面刻蝕后進行氧化，形成隧穿氧化層；

(3)在所述隧穿氧化層表面沉積非晶硅層；

(4)去除所述硅片正面繞鍍的非晶硅層；

(5)對所述非晶硅層進行磷摻雜，形成摻雜型非晶硅層及磷硅玻璃層；

(6)去除所述硼硅玻璃層和所述磷硅玻璃層。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，在步驟(6)之后，所述方法還包括：

(7)在所述硅片的正面和/或背面制備鈍化層；

(8)對所述硅片進行絲網印刷并燒結形成電極。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述步驟(4)，包括：

用配制好的混合酸清洗所述硅片正面繞鍍的非晶硅層100～120秒，所述混合酸包括體積占比為10～12％的氫氟酸溶液、體積占比為45～50％的硝酸溶液、體積占比為10～13％的硫酸溶液及體積占比為25～30％的水。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述混合酸的溫度控制在8～12℃。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述步驟(6)，包括：

用配制好的氫氟酸溶液清洗所述硼硅玻璃層和所述磷硅玻璃層100～120秒，所述氫氟酸的體積占比為20～25％及體積占比為75～80％的水。

6.根據權利要求5所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述步驟(6)中的氫氟酸的溫度控制在20～25℃。

7.根據權利要求1至6任一項所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述步驟(2)，包括：

采用硝酸氧化法、臭氧水氧化法或熱氧化法對所述硅片進行背面刻蝕之后進行氧化，形成隧穿氧化層。

8.根據權利要求1至6任一項所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，所述步驟(3)，包括：

采用低壓化學氣相沉積法、等離子體增強化學氣相沉積法、常壓化學氣相淀積中的任意一種方法在所述隧穿氧化層的表面沉積非晶硅層。

9.根據權利要求1至6任一項所述的太陽能電池制備方法，其特征在于，在步驟(1)之前，所述方法還包括：

對所述硅片的正面和背面進行制絨處理。

10.一種太陽能電池，其特征在于，所述太陽能電池由權利要求1至9任一項所述的太陽能電池制備方法得到，所述太陽能電池包括由上至下依次層疊的第一電極、第二鈍化層、第一鈍化層、硼擴散層、硅片、隧穿氧化層、摻雜型非晶硅層、第三鈍化層、第二電極。