[發明專利]一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 202010595305.7
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111707670B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發明（設計）人: 鄧懷波;梁曉捷;高書偉;康強強
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/956
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224
• 代理人: 張英

本發明提供一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法及裝置，方法包括：旋轉載臺帶動檢測對象作圓周運動；線掃相機位于旋轉載臺上方且成像方向垂直于圓周運動方向；線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像；基于線掃圖像進行缺陷檢測，獲得缺陷信息。本發明使用線掃相機取樣搭配頻閃光源，在掃描過程中會依次在頻閃明場與頻閃暗場光照明下的圖像，并對旋轉載臺上采集的線掃圖像進行畸變的校正，將校正后的圖像進行缺陷檢測，輸出缺陷特征信息。從而解決了現有需要重復掃描或者增加光學系統的不足問題，同時獲得一種更加智能化、精度更高的缺陷檢測方法及裝置。

技術領域

本發明涉及自動化檢測領域，尤其涉及一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法。

背景技術

目前，現有自動化檢測由于空間受限、工位較多，因此檢測設備采用旋轉式布局。在旋轉載臺的光學檢測應用中，一種采用面陣相機拍照，具體包括：旋轉載臺運動過程中間隔性停下，使用面陣相機拍照采集檢測圖像。另一種采用線陣相機拍照，具體包括：旋轉載臺將產品運輸至線掃相機工位下，然后使用線掃相機進行直線式線掃描獲取檢測圖像；其中，線掃描相機都是在LED背光環境下對產品表面攝像后得到信息。而在外觀檢應用中，檢測缺陷類型較多，采用一次運動面陣相機檢測到的缺陷信息過于單一，而線掃相機成像方向上線速度不一致容易引起的檢測圖像畸變。因此，亟需研究出一種更加智能化、效率更高、精度更高的缺陷檢測方法及裝置。

發明內容

本發明提供一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法及系統。其中，本發明使用線掃相機取樣搭配頻閃光源，在掃描過程中會依次在頻閃明場與頻閃暗場光照明下的圖像，并對旋轉載臺上采集的線掃圖像進行畸變的校正，將校正后的圖像進行缺陷檢測，輸出缺陷特征信息。從而解決了現有需要重復掃描或者增加光學系統的不足問題，同時獲得一種更加智能化、精度更高的缺陷檢測方法及裝置。

本發明提供一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，所述方法包括：

所述旋轉載臺帶動檢測對象作圓周運動；

所述線掃相機位于旋轉載臺上方且成像方向垂直于圓周運動方向；

所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像；

基于所述線掃圖像進行缺陷檢測，獲得缺陷信息。

進一步地，所述基于所述線掃圖像進行缺陷檢測包括：對所述線掃圖像進行拼接，對拼接后的圖像進行圖像校正，根據校正后的圖像進行缺陷檢測。

進一步地，所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像包括：

利用明場光源和暗場光源根據預設的閃光頻率將不同光路的光交替照射于檢測對象表面；

線掃相機根據所述閃光頻率交替獲取所述明場光源下獲得的明場線掃圖像和所述暗場光源下的暗場線掃圖像；

分別提取所述明場線掃圖像和所述暗場線掃圖像，對所述明場線掃圖像進行拼接，獲得明場圖像，對所述暗場線掃圖像進行拼接，獲得暗場圖像；

分別對所述明場圖像和暗場圖像進行校正，對校正后的圖像進行缺陷檢測。

進一步地，所述線掃相機的曝光頻率為所述明場光源或所述暗場光源閃光頻率的2倍。

進一步地，所述明場光源為線掃相機的同軸光源，所述暗場光源為位于所述線掃相機側方的至少一個線性光源。

進一步地，所述旋轉載臺上放置多個檢測對象。

本發明第二方面提供一種基于旋轉載臺的缺陷檢測裝置，所述裝置包括：旋轉載臺、線掃相機和處理模塊；

其中，所述旋轉載臺帶動檢測對象作圓周運動；

所述線掃相機位于旋轉載臺上方且成像方向垂直于圓周運動方向；

所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像；