[發明專利]一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 202010595305.7
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111707670B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發明（設計）人: 鄧懷波;梁曉捷;高書偉;康強強
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/956
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224
• 代理人: 張英

1.一種基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述方法包括：

所述旋轉載臺帶動檢測對象作圓周運動；

所述線掃相機位于旋轉載臺上方且成像方向垂直于圓周運動方向；

所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像；

基于所述線掃圖像進行缺陷檢測，獲得缺陷信息。

2.根據權利要求1所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述基于所述線掃圖像進行缺陷檢測包括：對所述線掃圖像進行拼接，對拼接后的圖像進行圖像校正，根據校正后的圖像進行缺陷檢測。

3.根據權利要求1所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像包括：

利用明場光源和暗場光源根據預設的閃光頻率將不同光路的光交替照射于檢測對象表面；

線掃相機根據所述閃光頻率交替獲取所述明場光源下獲得的明場線掃圖像和所述暗場光源下的暗場線掃圖像；

分別提取所述明場線掃圖像和所述暗場線掃圖像，對所述明場線掃圖像進行拼接，獲得明場圖像，對所述暗場線掃圖像進行拼接，獲得暗場圖像；

分別對所述明場圖像和暗場圖像進行校正，對校正后的圖像進行缺陷檢測。

4.根據權利要求3所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述線掃相機的曝光頻率為所述明場光源或所述暗場光源閃光頻率的2倍。

5.根據權利要求3所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述明場光源為線掃相機的同軸光源，所述暗場光源為位于所述線掃相機側方的至少一個線性光源。

6.根據權利要求1所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測方法，其特征在于，所述旋轉載臺上放置多個檢測對象。

7.一種基于旋轉載臺的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：旋轉載臺、線掃相機和處理模塊；

其中，所述旋轉載臺帶動檢測對象作圓周運動；

所述線掃相機位于旋轉載臺上方且成像方向垂直于圓周運動方向；

所述線掃相機獲得檢測對象的線掃圖像；

所述處理模塊基于所述線掃圖像進行缺陷檢測，獲得缺陷信息。

8.根據權利要求7所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括固定裝置，利用所述固定裝置對所述檢測對象進行固定。

9.根據權利要求7所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述裝置還包括明場光源和暗場光源；所述明場光源和暗場光源用于根據預設的閃光頻率將不同光路的光交替照射于檢測對象表面；所述線掃相機還用于根據所述閃光頻率交替獲取所述明場光源下獲得的明場線掃圖像和所述暗場光源下的暗場線掃圖像；所述處理模塊還用于分別提取所述明場線掃圖像和所述暗場線掃圖像，對所述明場線掃圖像進行拼接，獲得明場圖像，對所述暗場線掃圖像進行拼接，獲得暗場圖像；并分別對所述明場圖像和暗場圖像進行校正，對校正后的圖像進行缺陷檢測。

10.根據權利要求9所述的基于旋轉載臺的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述線掃相機的曝光頻率為所述明場光源或所述暗場光源閃光頻率的2倍。