[發(fā)明專利]一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置、調(diào)節(jié)方法及光刻機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010592055.1
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111880377A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于向前;陳國軍;吳景舟;馬迪
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發(fā)明公開了一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置、調(diào)節(jié)方法及光刻機，屬于鏡頭調(diào)節(jié)技術(shù)領(lǐng)域。所述鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其包括支撐板、安裝架、固定銷軸、旋轉(zhuǎn)銷軸和第一頂絲；其中，安裝架一端用于安裝鏡頭，另一端設(shè)置有與支撐板連接的法蘭；固定銷軸和旋轉(zhuǎn)銷軸均用于連接法蘭和支撐板，固定銷軸與法蘭緊配合，旋轉(zhuǎn)銷軸與法蘭松配合；第一頂絲安裝在法蘭上，并能頂緊在旋轉(zhuǎn)銷軸的周向上。所述鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，通過調(diào)節(jié)上述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置進行調(diào)節(jié)。所述光刻機包括上述鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置。本發(fā)明的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置、調(diào)節(jié)方法及光刻機，轉(zhuǎn)動第一頂絲來推動旋轉(zhuǎn)銷軸，帶動法蘭繞固定銷軸轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)了鏡頭角度調(diào)節(jié)，提高了調(diào)節(jié)效率、調(diào)節(jié)精度及調(diào)節(jié)靈活性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鏡頭調(diào)節(jié)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置、調(diào)節(jié)方法及光刻機。

背景技術(shù)

光刻機是將掩模上的圖案通過投影鏡頭投影到工件表面的裝置。在掃描時，鏡頭需精確地與工件表面相對應(yīng)，曝光鏡頭角度要求穩(wěn)定性好，且精確高，一般要求精度達到0.001°。現(xiàn)有技術(shù)中，鏡頭角度的調(diào)節(jié)主要有以下三種方法，第一、通過配備電控裝置實現(xiàn)鏡頭角度調(diào)節(jié)，成本較高；第二、通過機械結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)，然而結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜，角度調(diào)節(jié)不夠靈活；第三、依靠手工轉(zhuǎn)動，完全憑感覺進行，無量化標(biāo)準(zhǔn)，費時費力，且轉(zhuǎn)動精度低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一個目的在于提供一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，結(jié)構(gòu)簡單，提高調(diào)節(jié)效率、調(diào)節(jié)精度及調(diào)節(jié)靈活性。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，包括：

支撐板；

安裝架，一端用于安裝鏡頭，另一端設(shè)置有與支撐板連接的法蘭；

固定銷軸和旋轉(zhuǎn)銷軸，均用于連接法蘭和支撐板，并分別與法蘭緊配合和松配合；

第一頂絲，安裝在法蘭上，并能頂緊在旋轉(zhuǎn)銷軸的周向上。

可選地，固定銷軸和旋轉(zhuǎn)銷軸對稱連接在法蘭上。

可選地，第一頂絲的規(guī)格為M2-M6。

可選地，鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置包括兩個第一頂絲，兩個第一頂絲分別安裝在旋轉(zhuǎn)銷軸的兩側(cè)。

可選地，第一頂絲為內(nèi)六角尖端頂絲。

可選地，鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置還包括第二頂絲，第二頂絲用于頂緊固定銷軸。

本發(fā)明的第二個目的在于提供一種鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，提高調(diào)節(jié)效率、調(diào)節(jié)精度及調(diào)節(jié)靈活性。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，包括：

預(yù)處理：預(yù)設(shè)鏡頭的目標(biāo)角度為α；計算出第一頂絲每旋轉(zhuǎn)一圈，推動鏡頭旋轉(zhuǎn)角度為β；

粗調(diào)：旋轉(zhuǎn)鏡頭并測量當(dāng)前角度γ，直至當(dāng)前角度γ與目標(biāo)角度α的差值小于預(yù)定閾值；

計算轉(zhuǎn)動第一頂絲的圈數(shù)A：A＝(γ-α)/β；

微調(diào)：旋轉(zhuǎn)第一頂絲轉(zhuǎn)動A圈，第一頂絲推動鏡頭轉(zhuǎn)動。

可選地，通過CCD相機抓取鏡頭的投影圖像，投影圖像包括矩形圖像，以及矩形圖像兩側(cè)對稱的圓形圖像。

可選地，圈數(shù)A的步進精度為1/4。

本發(fā)明的第三個目的在于提供一種光刻機，提高調(diào)節(jié)效率、調(diào)節(jié)精度及調(diào)節(jié)靈活性。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種光刻機，包括上述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置。

本發(fā)明的有益效果：