[發(fā)明專利]一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置、調(diào)節(jié)方法及光刻機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010592055.1
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111880377A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于向前;陳國軍;吳景舟;馬迪
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

支撐板(1)；

安裝架(2)，一端用于安裝鏡頭(100)，另一端設(shè)置有與所述支撐板(1)連接的法蘭(21)；

固定銷軸(3)和旋轉(zhuǎn)銷軸(4)，均用于連接所述法蘭(21)和所述支撐板(1)，并分別與所述法蘭(21)緊配合和松配合；

第一頂絲(5)，安裝在所述法蘭(21)上，并能頂緊在所述旋轉(zhuǎn)銷軸(4)的周向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述固定銷軸(3)和所述旋轉(zhuǎn)銷軸(4)對稱連接在所述法蘭(21)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一頂絲(5)的規(guī)格為M2-M6。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置包括兩個第一頂絲(5)，兩個所述第一頂絲(5)分別安裝在所述旋轉(zhuǎn)銷軸(4)的兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一頂絲(5)為內(nèi)六角尖端頂絲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述鏡頭(100)角度調(diào)節(jié)裝置還包括第二頂絲(6)，所述第二頂絲(6)用于頂緊所述固定銷軸(3)。

7.一種鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，包括：

預處理：預設(shè)鏡頭(100)的目標角度為α；計算出第一頂絲(5)每旋轉(zhuǎn)一圈，推動所述鏡頭(100)旋轉(zhuǎn)角度為β；

粗調(diào)：旋轉(zhuǎn)所述鏡頭(100)并測量當前角度γ，直至所述當前角度γ與所述目標角度α的差值小于預定閾值；

計算轉(zhuǎn)動所述第一頂絲(5)的圈數(shù)A：A＝(γ-α)/β；

微調(diào)：旋轉(zhuǎn)所述第一頂絲(5)轉(zhuǎn)動A圈，所述第一頂絲(5)推動所述鏡頭(100)轉(zhuǎn)動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，通過CCD相機(200)抓取所述鏡頭(100)的投影圖像(300)，所述投影圖像(300)包括矩形圖像(301)，以及所述矩形圖像(301)兩側(cè)對稱的圓形圖像(302)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述圈數(shù)A的步進精度為1/4。

10.一種光刻機，其特征在于，包括權(quán)利要求1-5任一項所述的鏡頭角度調(diào)節(jié)裝置。