[發明專利]一種蒸鍍裝置及顯示面板的制備方法

在審

• 申請號: 202010588909.9
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111748767A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 宋楠楠
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

本發明提供一種蒸鍍裝置及顯示面板的制備方法。所述蒸鍍裝置包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸鍍顯示面板的發光材料層，所述第二掩膜版用于蒸鍍所述顯示面板的微共振腔調整層；所述第一掩膜版包括第一開口區和第二開口區，所述第二掩膜版包括第三開口區和第四開口區，所述第一開口區和所述第三開口區均對應于所述顯示面板的顯示區，所述第二開口區和所述第四開口區均對應于所述顯示面板的非顯示區；其中，所述第一開口區內的多個開口與所述第三開口區內的多個開口重合，所述第二開口區內的多個開口與所述第四開口區內的多個開口錯開。當發生混色時，可通過非顯示區內的膜層位置分析混色原因，解決混色問題。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置及顯示面板的制備方法。

背景技術

近年來，AMOLED顯示面板因色域更廣、可柔性、可折疊等優點得到廣泛關注及應用。而AMOLED顯示面板的生產良率直接影響其生產成本，其中混色不良的減少對其成本降低起到關鍵作用。因此，對混色不良的解析及解決尤為重要。

產生混色的原因有兩種，其一是由于蒸鍍發光材料層的掩膜版異常而發生偏位，其二是由于調整微共振腔的掩膜版異常而發生偏位。而現有技術中用于蒸鍍發光材料層的掩膜版的蒸鍍區域和用于蒸鍍微共振腔調整層的掩膜版的蒸鍍區域相同，當發生混色時，無法區分究竟是由于哪一個掩膜版異常而發生偏位，因此無法解決混色不良，導致生產良率下降，生產成本上升。故，有必要改善這一缺陷。

發明內容

本發明實施例提供一種蒸鍍裝置，用于解決現有技術的蒸鍍裝置，用于蒸鍍發光材料層的掩膜版的蒸鍍區域和用于蒸鍍微共振腔調整層的掩膜版的蒸鍍區域相同，當發生混色時，無法區分究竟是由于哪一個掩膜版異常而發生偏位，因此無法解決混色不良，導致生產良率下降，生產成本上升的技術問題。

本發明實施例提供一種蒸鍍裝置，包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸鍍顯示面板的發光材料層，所述第二掩膜版用于蒸鍍所述顯示面板的微共振腔調整層；所述第一掩膜版包括第一開口區和第二開口區，所述第二掩膜版包括第三開口區和第四開口區，所述第一開口區和所述第三開口區均對應于所述顯示面板的顯示區，所述第二開口區和所述第四開口區均對應于所述顯示面板的非顯示區；其中，所述第一開口區內的多個開口與所述第三開口區內的多個開口重合，所述第二開口區內的多個開口與所述第四開口區內的多個開口錯開。

進一步的，所述第一開口區、所述第二開口區、所述第三開口區、以及所述第四開口區內的多個開口均陣列排布。

進一步的，所述第二開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的另一側。

進一步的，所述第二開口區內的多個開口對應于所述非顯示區遠離所述顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述非顯示區靠近所述顯示區的一側。

進一步的，所述第一掩膜版用于蒸鍍紅光發光材料，所述第二掩膜版用于蒸鍍紅光微共振腔調整材料。

進一步的，所述第一掩膜版用于蒸鍍綠光發光材料，所述第二掩膜版用于蒸鍍綠光微共振腔調整材料。

本發明實施例提供一種顯示面板的制備方法，包括步驟：提供一襯底層；在所述襯底層上制備薄膜晶體管層；在所述薄膜晶體管層上制備像素定義層；使用蒸鍍裝置在所述像素定義層中蒸鍍發光材料層和微共振腔調整層，其中，所述蒸鍍裝置包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸鍍所述發光材料層，所述第二掩膜版用于蒸鍍所述微共振腔調整層；所述第一掩膜版包括第一開口區和第二開口區，所述第二掩膜版包括第三開口區和第四開口區，所述第一開口區和所述第三開口區均對應于所述顯示面板的顯示區，所述第二開口區和所述第四開口區均對應于所述顯示面板的非顯示區；所述第一開口區內的多個開口與所述第三開口區內的多個開口重合，所述第二開口區內的多個開口與所述第四開口區內的多個開口錯開。