[發明專利]一種蒸鍍裝置及顯示面板的制備方法

在審

• 申請號: 202010588909.9
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111748767A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 宋楠楠
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸鍍顯示面板的發光材料層，所述第二掩膜版用于蒸鍍所述顯示面板的微共振腔調整層；

所述第一掩膜版包括第一開口區和第二開口區，所述第二掩膜版包括第三開口區和第四開口區，所述第一開口區和所述第三開口區均對應于所述顯示面板的顯示區，所述第二開口區和所述第四開口區均對應于所述顯示面板的非顯示區；

其中，所述第一開口區內的多個開口與所述第三開口區內的多個開口重合，所述第二開口區內的多個開口與所述第四開口區內的多個開口錯開。

2.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一開口區、所述第二開口區、所述第三開口區、以及所述第四開口區內的多個開口均陣列排布。

3.如權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的另一側。

4.如權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二開口區內的多個開口對應于所述非顯示區遠離所述顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述非顯示區靠近所述顯示區的一側。

5.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一掩膜版用于蒸鍍紅光發光材料，所述第二掩膜版用于蒸鍍紅光微共振腔調整材料。

6.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一掩膜版用于蒸鍍綠光發光材料，所述第二掩膜版用于蒸鍍綠光微共振腔調整材料。

7.一種顯示面板的制備方法，其特征在于，包括步驟：

提供一襯底層；

在所述襯底層上制備薄膜晶體管層；

在所述薄膜晶體管層上制備像素定義層；

使用蒸鍍裝置在所述像素定義層中蒸鍍發光材料層和微共振腔調整層，其中，所述蒸鍍裝置包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸鍍所述發光材料層，所述第二掩膜版用于蒸鍍所述微共振腔調整層；所述第一掩膜版包括第一開口區和第二開口區，所述第二掩膜版包括第三開口區和第四開口區，所述第一開口區和所述第三開口區均對應于所述顯示面板的顯示區，所述第二開口區和所述第四開口區均對應于所述顯示面板的非顯示區；所述第一開口區內的多個開口與所述第三開口區內的多個開口重合，所述第二開口區內的多個開口與所述第四開口區內的多個開口錯開。

8.如權利要求7所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第一開口區、所述第二開口區、所述第三開口區、以及所述第四開口區內的多個開口均陣列排布。

9.如權利要求8所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第二開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述顯示面板的所述非顯示區的另一側。

10.如權利要求8所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第二開口區內的多個開口對應于所述非顯示區遠離所述顯示區的一側，所述第四開口區內的多個開口對應于所述非顯示區靠近所述顯示區的一側。