[發(fā)明專利]干燥機(jī)構(gòu)及具有其的石英管清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010588877.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN111912216A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李殷廷;李亭亭;蔣浩杰;熊文娟;羅英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): F26B21/00
• 分類號(hào): F26B21/00
• 代理公司: 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

1.一種干燥機(jī)構(gòu)，用于石英管清洗裝置，其特征在于，所述干燥機(jī)構(gòu)包括：

供氣模塊，所述供氣模塊內(nèi)存儲(chǔ)有吹掃氣體；

承托模塊，所述承托模塊用于承托待干燥石英管；

噴射模塊，所述噴射模塊與所述承托模塊配合且與所述供氣模塊連通，所述噴射模塊上設(shè)有噴射孔組，所述噴射模塊為可伸縮結(jié)構(gòu)，至少部分所述噴射模塊能夠伸入到所述待干燥石英管的內(nèi)部，以使所述吹掃氣體對(duì)所述待干燥石英管的內(nèi)表面進(jìn)行干燥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述干燥機(jī)構(gòu)還包括加熱模塊，所述噴射模塊通過所述加熱模塊與所述供氣模塊連通，所述加熱模塊用于對(duì)所述吹掃氣體加熱，以使進(jìn)入到所述待干燥石英管內(nèi)的所述吹掃氣體達(dá)到預(yù)設(shè)溫度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)溫度的范圍為50℃～120℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴射模塊包括：

主管單元，所述主管單元與所述承托模塊配合，所述噴射孔組包括開設(shè)于所述主管單元的第一孔，所述吹掃氣體能夠經(jīng)所述第一孔進(jìn)入到所述待干燥石英管的內(nèi)部；

套管單元，至少部分所述套管單元以可移動(dòng)的方式插接于所述主管單元，所述噴射孔組還包括開設(shè)于所述套管單元的第二孔，所述吹掃氣體能夠經(jīng)所述第二孔進(jìn)入到所述待干燥石英管的內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述套管單元包括多個(gè)套管部，各所述套管部依次以可活動(dòng)的方式套裝連接，以使所述套管單元形成可伸縮結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴射模塊還包括尾管單元，至少部分所述尾管單元以可移動(dòng)的方式插接于所述套管單元遠(yuǎn)離主管單元的一端，以形成柱狀結(jié)構(gòu)，所述主管單元、所述套管單元和所述尾管單元同軸設(shè)置，所述噴射孔組還包括第三孔，所述第三孔開設(shè)在所述尾管單元遠(yuǎn)離所述套管單元的一端，所述吹掃氣體能夠經(jīng)所述第三孔進(jìn)入到所述待干燥石英管的內(nèi)部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴射孔組還包括第四孔，所述第四孔開設(shè)在所述尾管單元的側(cè)壁上，所述第一孔、所述第二孔和所述第四孔以螺旋的方式設(shè)置在所述柱狀結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一孔的數(shù)量為多個(gè)，各所述第一孔間隔設(shè)置在所述主管單元上；

并且/或者所述第二孔的數(shù)量為多個(gè)，各所述第二孔間隔設(shè)置在所述套管單元上；

并且/或者所述第四孔的數(shù)量為多個(gè)，各所述第四孔間隔設(shè)置在所述尾管單元上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承托模塊包括：

承托板，所述承托板上設(shè)有安裝孔，所述噴射模塊安裝于所述安裝孔；

支撐件，所述支撐件的數(shù)量為多個(gè)，各所述支撐件間隔設(shè)置在所述承托板上且分別用于所述待干燥石英管的開口端的抵靠。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的干燥機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承托模塊還包括圍板，所述圍板設(shè)置在所述承托板上且與所述承托板形成筒狀收容空間，各所述支撐件均位于所述收容空間內(nèi)，所述收容空間至少用于收容所述開口端；

并且/或者所述承托板上還設(shè)有排氣孔，所述排氣孔與所述安裝孔間隔設(shè)置且用于所述吹掃氣體的排出；

并且/或者所述噴射模塊的數(shù)量為多個(gè)，各所述噴射模塊在所述承托板上間隔設(shè)置，所述噴射模塊與所述安裝孔對(duì)應(yīng)設(shè)置。

11.一種石英管清洗裝置，用于半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述石英管清洗裝置包括如權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的干燥機(jī)構(gòu)。