[發明專利]一種襯底的裝載和拾取裝置及襯底的裝載和拾取方法

有效

• 申請號: 202010588248.X
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN113829377B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 王燚;吳鳳麗
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08;B25J18/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 李強

1.一種襯底的裝載和拾取裝置，其特征在于，包括：基座(1)、機械臂(3)、機械手(4)、卡閘(2)、襯底托盤(5)、襯托底座(6)和升降裝置(7)；

其中，所述基座(1)的中間位置設有升降裝置(7)，升降裝置(7)下設有襯托底座(6)襯托底座(6)中設有襯底托盤(5)，升降裝置(7)穿過襯托底座(6)和襯底托盤(5)可以在基座(1)中上下伸縮，所述襯底托盤(5)上設有可承載襯底的槽，在基座(1)的上表面邊緣位置設有多個可存放襯底的卡閘(2)，在卡閘(2)與升降裝置(7)之間設有機械臂(3)，機械臂(3)位于基座(1)表面，機械臂(3)的一端與機械手(4)相連接，所述機械手(4)可以在基座(1)上表面卡閘(2)與襯底托盤(5)之間水平旋轉，同時在卡閘(2)和襯底托盤(5)之間完成襯底的裝載和拾??；

所述升降裝置(7)為圓柱狀不等高頂升柱(701)，不等高頂升柱(701)穿過襯托底座(6)可以在基座(1)中上下伸縮，襯底可裝載至不等高頂升柱(701)上，不等高頂升柱(701)使襯底下降至襯底托盤(5)的槽中。

2.根據權利要求1所述的一種襯底的裝載和拾取裝置，其特征在于，所述不等高頂升柱(701)和襯底托盤(5)的槽按照內外全同心圓排布，從內向外設有三排不等高頂升柱(701)，不等高頂升柱(701)的高度從內向外依次降低。

3.根據權利要求1所述的一種襯底的裝載和拾取裝置，其特征在于，所述升降裝置(7)為圓柱狀頂升柱(702)，襯底托盤(5)下設有環形板狀頂升板(501)，頂升板(501)可以帶動頂升柱(702)在基座(1)中上下伸縮。

4.根據權利要求3所述的一種襯底的裝載和拾取裝置，其特征在于，所述頂升柱(702)和頂升板(501)按照內外同心圓排布，從內向外設有三排頂升柱(702)和頂升板(501)，每個頂升板(501)可單獨升降。

5.根據權利要求1所述的一種襯底的裝載和拾取裝置，其特征在于，所述機械手(4)通過設有夾取裝置夾住襯底的外圓，完成卡閘(2)和襯底托盤(5)之間的襯底裝載和拾取。

6.一種襯底的裝載和拾取方法，所述方法采用權利要求1～5任意一種襯底的裝載和拾取裝置進行，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

1)啟動裝置，使升降裝置(7)升高；

2)機械臂(3)帶動機械手(4)從卡閘(2)中取出襯底并放置在升降裝置(7)上；

3)升降裝置(7)下降，襯底裝載至襯底托盤(5)的槽中，完成裝載作業；

4)啟動裝置，使升降裝置(7)升高；

5)機械臂(3)帶動機械手(4)從升降裝置(7)上取出襯底并放置在卡閘(2)中，完成拾取作業。