[發明專利]一種襯底的裝載和拾取裝置及襯底的裝載和拾取方法

有效

• 申請號: 202010588248.X
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN113829377B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 王燚;吳鳳麗
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08;B25J18/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 李強

本發明提供了一種襯底的裝載和拾取裝置及襯底的裝載和拾取方法，包括：基座、機械臂、機械手、卡閘、襯底托盤、襯托底座和升降裝置。本發明將采用一次性放置多個襯底，同時進行裝載和拾取，通過基座中的升降裝置，有序地將襯底從襯底托盤中頂起，隨后機械臂、機械手對襯底進行自動裝載和拾取，該裝置運行方式靈活，處理效果穩定，提高了工作效率，減輕工人勞動強度，具有極高的生產經濟價值。

技術領域

本發明涉及裝載襯底技術領域，具體涉及一種襯底的裝載和拾取裝置及襯底的裝載和拾取方法。

背景技術

針對小尺寸襯底的沉積，為增加沉積效率，往往采取一次沉積多片的型式，一次在腔體內放置多個小尺寸襯底沉積。對于此種情況，目前多為人工裝載及拾取，生產效率低，勞動強度大。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提供了一種襯底的裝載和拾取裝置及襯底的裝載和拾取方法。

一方面，本發明提供了一種襯底的裝載和拾取裝置，包括：基座、機械臂、機械手、卡閘、襯底托盤、襯托底座和升降裝置；

其中，所述基座的中間位置設有升降裝置，升降裝置下設有襯托底座襯托底座中設有襯底托盤，升降裝置穿過襯托底座和襯底托盤可以在基座中上下伸縮，所述襯底托盤上設有可承載襯底的槽，在基座的上表面邊緣位置設有多個可存放襯底的卡閘，在卡閘與升降裝置之間設有機械臂，機械臂位于基座表面，機械臂的另一端與機械手，所述機械手可以在基座上表面卡閘與襯底托盤之間水平旋轉，同時在卡閘和襯底托盤之間完成襯底的裝載和拾取。

優選，所述升降裝置為圓柱狀不等高頂升柱，不等高頂升柱穿過襯托底座可以在基座中上下伸縮，襯底可裝載至不等高頂升柱上，不等高頂升柱時襯底下降至襯底托盤的槽中。

進一步優選，所述不等高頂升柱和襯底托盤的槽按照內外全同心圓排布，從內向外設有三排不等高頂升柱，不等高頂升柱的高度從內向外依次降低。

進一步優選，所述升降裝置為圓柱狀頂升柱，襯底托盤下設有環形板狀頂升板，頂升板可以帶動頂升柱在基座中上下伸縮。

進一步優選，所述頂升柱和頂升板按照內外同心圓排布，從內向外設有三排頂升柱和頂升板，每個頂升板可單獨升降。

進一步優選，所述機械手通過設有夾取裝置夾住襯底的外圓，完成卡閘和襯底托盤之間的襯底裝載和拾取。

另一方面，本發明海提供了一種襯底的裝載和拾取方法，所述方法采用上述任意一種襯底的裝載和拾取裝置進行，所述方法包括如下步驟：

1)啟動裝置，使升降裝置升高；

2)機械臂帶動機械手從卡閘中取出襯底并放置在升降裝置上；

3)升降裝置下降，襯底裝載至襯底托盤的槽中，完成裝載作業；

4)啟動裝置，使升降裝置升高；

5)機械臂帶動機械手從升降裝置上取出襯底并放置在卡閘中，完成拾取作業。

相對現有技術，本發明具有以下有益效果：

本發明將采用一次性放置多個襯底，同時進行裝載和拾取，通過基座中的升降裝置，有序地將襯底從襯底托盤中頂起，隨后機械臂、機械手對襯底進行自動裝載和拾取，該裝置運行方式靈活，處理效果穩定，提高了工作效率，減輕工人勞動強度，具有極高的生產經濟價值。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明的裝載和拾取裝置的結構示意圖；