[發明專利]真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子

在審

• 申請號: 202010587774.4
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN112211830A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 大立好伸;前島靖;高阿田勉
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/54;F04D29/66;B23P15/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;司昆明

1.一種真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、轉子、多個轉子翼、定子、驅動部、軸承，

前述第1罩具有吸氣口，

前述第2罩具有排氣口，

前述轉子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空間內，具有軸，

前述多個轉子翼固定于前述轉子的外周面或與前述轉子的外周面一體地形成，

前述定子在前述軸的軸向上與前述轉子翼交替地配置，

前述驅動部將前述軸旋轉驅動，

前述軸承將前述軸能夠旋轉地支承，

前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步驟：

對金屬板實施切斷加工，由此將位于前述定子的外周側端位置的外周邊緣、位于前述定子的內周側端的內周邊緣、位于前述外周邊緣及前述內周邊緣之間的定子翼一體地形成，并且將作為前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼側端部從前述定子翼的內周側端至外周側端直線狀地形成；

對前述金屬板實施彎折加工，由此將前述定子翼彎折，使得前述定子翼相對于前述外周邊緣的傾斜角度從前述定子翼的內周側端至外周側端為恒定；

配置成，使前述定子翼的位于上游側的前述定子翼側端部的上游側棱線從前述定子翼的內周側端至外周側端為直線，且相對于配置與該上游側棱線相向的前述轉子翼的下游側端部的面，前述軸向上的間隙為恒定。

2.一種真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、轉子、多個轉子翼、定子、驅動部、軸承，

前述第1罩具有吸氣口，

前述第2罩具有排氣口，

前述轉子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空間內，具有軸，

前述多個轉子翼固定于前述轉子的外周面或與前述轉子的外周面一體地形成，

前述定子在前述軸的軸向上與前述轉子翼交替地配置，

前述驅動部將前述軸旋轉驅動，

前述軸承將前述軸能夠旋轉地支承，

前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步驟：

對金屬板實施切斷加工，由此將位于前述定子的外周側端位置的外周邊緣、位于前述定子的內周側端的內周邊緣、位于前述外周邊緣及前述內周邊緣之間的定子翼一體地形成，并且將作為前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼側端部從內周側端至外周側端直線狀或曲線狀地形成；

對前述金屬板實施彎折加工，由此將前述定子翼彎折，使得前述定子翼相對于前述外周邊緣的傾斜角度從前述定子翼的內周側端至外周側端變化；

配置成，使前述定子翼的位于上游側的前述定子翼側端部的上游側棱線從前述定子翼的內周側端至外周側端為曲線，且相對于配置與該上游側棱線相向的前述轉子翼的下游側端部的面，前述軸向上的間隙為恒定。

3.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的狹縫孔的長度或寬度為前述金屬板的板厚的0.2倍以上。

4.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的狹縫孔的角落部的曲率半徑為0.2mm以上。

5.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的狹縫孔的前述定子的周向上的長度從前述定子翼的內周側端至外周側端變大。

6.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的狹縫孔的前述定子的周向上的長度從前述定子翼的內周側端至外周側端相等。

7.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的狹縫孔的前述定子的周向上的長度從前述定子翼的內周側端至外周側端變小。

8.如權利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通過前述切斷加工形成于前述金屬板的與前述外周邊緣相鄰的狹縫孔的前述定子的徑向上的長度比前述外周邊緣的前述徑向上的長度小。