[發(fā)明專利]真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010587774.4
• 申請(qǐng)日: 2020-06-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112211830A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大立好伸;前島靖;高阿田勉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D29/54;F04D29/66;B23P15/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;司昆明

提供能夠提高真空泵的排氣性能的真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。一種真空泵的制造方法，對(duì)金屬板實(shí)施切斷加工及彎折加工，一體地形成定子（41），前述定子（41）具有位于外周側(cè)端的外周邊緣（45）、位于內(nèi)周側(cè)端的內(nèi)周邊緣（44）、位于外周邊緣（45）及內(nèi)周邊緣（44）之間的定子翼（43）。定子翼（43）相對(duì)于外周邊緣（45）的傾斜角度（θ）從定子翼（43）的內(nèi)周側(cè)端至外周側(cè)端恒定，位于定子翼（43）的上游側(cè)的定子翼側(cè)端部（53C）的上游側(cè)棱線（54）從定子翼（43）的內(nèi)周側(cè)端至外周側(cè)端為直線，并且相對(duì)于配置與上游側(cè)棱線（54）相向的轉(zhuǎn)子翼（32）的下游側(cè)端部的面（P1），軸向上的間隙（S）恒定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造裝置、液晶制造裝置、電子顯微鏡、表面分析裝置或微細(xì)加工裝置等需要使裝置內(nèi)的環(huán)境為高度的真空狀態(tài)。為了使這些裝置的內(nèi)部為高度的真空狀態(tài)而使用真空泵。真空泵能夠通過(guò)使轉(zhuǎn)子翼相對(duì)于定子翼相對(duì)地旋轉(zhuǎn)來(lái)將氣體向外部排出，將上述的裝置內(nèi)保持為高真空。

例如專利文獻(xiàn)1中記載了如下方法：在板狀的盤實(shí)施打孔來(lái)形成沿周向排列的定子翼，通過(guò)將定子翼立起的彎折加工來(lái)形成定子翼。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006-348935號(hào)公報(bào)。

專利文獻(xiàn)1所述的方法中，定子翼向軸向立起的長(zhǎng)度(相當(dāng)于尺寸T)為定子翼的內(nèi)周側(cè)與外周側(cè)不同。因此，沿軸向排列的轉(zhuǎn)子翼與定子翼之間的間隙在內(nèi)周側(cè)與外周側(cè)不同。轉(zhuǎn)子翼與定子翼之間的軸向上的間隙大的情況下，轉(zhuǎn)子翼與定子翼之間發(fā)生氣體的逆流，成為排氣性能下降的要因。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而作出的，目的在于提供能夠提高真空泵的排氣性能的真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。

實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的真空泵的制造方法的一方案為，一種真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、轉(zhuǎn)子、多個(gè)轉(zhuǎn)子翼、定子、驅(qū)動(dòng)部、軸承，前述第1罩具有吸氣口，前述第2罩具有排氣口，前述轉(zhuǎn)子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空間內(nèi)，具有軸，前述多個(gè)轉(zhuǎn)子翼固定于前述轉(zhuǎn)子的外周面或與前述轉(zhuǎn)子的外周面一體地形成，前述定子在前述軸的軸向上與前述轉(zhuǎn)子翼交替地配置，前述驅(qū)動(dòng)部將前述軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，前述軸承將前述軸能夠旋轉(zhuǎn)地支承，前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步驟：對(duì)金屬板實(shí)施切斷加工，由此將位于前述定子的外周側(cè)端位置的外周邊緣、位于前述定子的內(nèi)周側(cè)端的內(nèi)周邊緣、位于前述外周邊緣及前述內(nèi)周邊緣之間的定子翼一體地形成，并且將作為前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼側(cè)端部從前述定子翼的內(nèi)周側(cè)端至外周側(cè)端直線狀地形成；對(duì)前述金屬板實(shí)施彎折加工，由此將前述定子翼彎折，使得前述定子翼相對(duì)于前述外周邊緣的傾斜角度從前述定子翼的內(nèi)周側(cè)端至外周側(cè)端為恒定；配置成，使位于前述定子翼的上游側(cè)的前述定子翼側(cè)端部的上游側(cè)棱線從前述定子翼的內(nèi)周側(cè)端至外周側(cè)端為直線，且相對(duì)于配置與該上游側(cè)棱線相向的前述轉(zhuǎn)子翼的下游側(cè)端部的面，前述軸向上的間隙為恒定。