[發(fā)明專利]微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器、傳感器單體及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010587755.1
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111854925B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒泉波;冷群文;丁凱文;趙海倫;安琪;周汪洋
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: G01H11/04
• 分類號: G01H11/04;G01H11/06
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

本說明書實施例提供微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器、傳感器單體及電子設(shè)備。微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器包括：襯底；振膜；位于振膜和襯底之間的支撐體；磁阻元件；以及磁場形成元件，用于對磁阻元件施加磁場，其中，所述襯底、振膜和支撐體形成真空腔，其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的一個元件位于所述振膜上并能夠隨所述振膜振動，其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的另一個元件位于所述支撐體側(cè)并且相對于所述振膜的振動保持相對靜止，以及其中，微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的輸出是基于所述磁阻元件的變化產(chǎn)生的。

技術(shù)領(lǐng)域

本說明書涉及微機(jī)電系統(tǒng)傳感器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器、傳感器單體及電子設(shè)備。

背景技術(shù)

壓力傳感器可以感測外界壓力的大小。絕對壓力傳感器是一種壓力傳感器。圖1示出了一個絕對壓力傳感器的例子。在圖1中，背極板11、壓力感測膜12和間隔件13形成真空腔。這里的真空指的是近似真空，可以是氣壓遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的環(huán)境。壓力感測膜12可以接受外界的壓力變化，從而產(chǎn)生形變，以靠近或遠(yuǎn)離背極板11。此時，背極板11和壓力感測膜12之間的電容發(fā)生變化。通過檢測這種電容變化，可以確定壓力的大小。

麥克風(fēng)可以感測聲壓，并且可以被認(rèn)為是壓力傳感器中的一種。電容型麥克風(fēng)利用電容變化產(chǎn)生聲音信號。在電容型麥克風(fēng)中，當(dāng)振膜接受到聲壓時，振膜發(fā)生振動。此時，振膜和背極板之間的電容發(fā)生變化。這種電容變化對應(yīng)于聲音信號。通常，麥克風(fēng)的聲腔與外界是聯(lián)通的，因此，在麥克風(fēng)的振膜和背極板中具有孔洞，以便聲壓能夠帶動空氣流動。這種麥克風(fēng)的封裝通常是開腔的，并且與注塑封裝方式相比，體積較大。

因此，需要提出一種用于微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的新技術(shù)方案。

發(fā)明內(nèi)容

本說明書的實施例提供用于微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的新技術(shù)方案。

根據(jù)本說明書的第一方面，提供了一種微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，包括：襯底；振膜；位于振膜和襯底之間的支撐體；磁阻元件；以及磁場形成元件，用于對磁阻元件施加磁場，其中，所述襯底、振膜和支撐體形成真空腔，其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的一個元件位于所述振膜上并能夠隨所述振膜振動，其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的另一個元件位于所述支撐體側(cè)并且相對于所述振膜的振動保持相對靜止，以及其中，微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的輸出是基于所述磁阻元件的變化產(chǎn)生的。

根據(jù)本說明書的第二方面，提供了一種傳感器單體，包括基板、根據(jù)實施例的微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器以及集成電路芯片，其中，所述微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器以及集成電路芯片被設(shè)置在所述基板上。

根據(jù)本說明書的第三方面，提供了一種電子設(shè)備，包括根據(jù)實施例的傳感器單體。

在不同實施例中，可以提供較高性能的微機(jī)電系統(tǒng)傳感器。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本說明書實施例。

此外，本說明書實施例中的任一實施例并不需要達(dá)到上述的全部效果。

通過以下參照附圖對本說明書的示例性實施例的詳細(xì)描述，本說明書的實施例的其它特征及其優(yōu)點將會變得清楚。

附圖說明

為了更清楚地說明本說明書實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本說明書實施例中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1示出了現(xiàn)有的微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的示意圖。

圖2示出了根據(jù)一個實施例的微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的示意圖。

圖3示出了根據(jù)一個實施例的微機(jī)電系統(tǒng)絕對壓力傳感器中一種磁場分布的示意圖。