[發(fā)明專利]微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器、傳感器單體及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010587755.1
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111854925B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒泉波;冷群文;丁凱文;趙海倫;安琪;周汪洋
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: G01H11/04
• 分類號: G01H11/04;G01H11/06
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

1.一種微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，包括：

襯底；

振膜；

位于振膜和襯底之間的支撐體；

磁阻元件；以及

磁場形成元件，用于對磁阻元件施加磁場，

其中，所述襯底、振膜和支撐體形成真空腔，

其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的一個元件位于所述振膜上并能夠隨所述振膜振動，

其中，所述磁阻元件和磁場形成元件中的另一個元件位于所述支撐體側(cè)并且相對于所述振膜的振動保持相對靜止，以及

其中，微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器的輸出是基于所述磁阻元件的變化產(chǎn)生的，

其中，在襯底中，與磁場形成元件相對的位置設(shè)置磁性元件，所述磁性元件在磁場形成元件的磁場能被改變，以調(diào)整磁場形成元件的位置，從而使得在未施加聲壓的狀態(tài)下，所述磁阻元件和磁場形成元件位于相同平面，

其中，所述一個元件是磁場形成元件并位于所述振膜上，以及所述另一個元件是磁阻元件并位于所述支撐體側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，其中，所述磁阻元件包括至少兩個磁阻元件，用于充當(dāng)檢測電路中惠斯通電橋的至少兩個電橋臂。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，其中，磁場形成元件被覆蓋有鈍化層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，其中，所述一個元件位于真空腔內(nèi)，所述另一個元件位于振膜和支撐體之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，其中，所述振膜是經(jīng)過預(yù)彎曲的振膜，以便在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下處于平整位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器，其中，微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器被用作微機電系統(tǒng)麥克風(fēng)。

7.一種傳感器單體，包括基板、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器以及集成電路芯片，其中，所述微機電系統(tǒng)絕對壓力傳感器以及集成電路芯片被設(shè)置在所述基板上。

8.一種電子設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器單體。