[發明專利]一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線

在審

• 申請號: 202010582113.2
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111668146A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 董曉清;安迪
• 申請（專利權）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 曹慧萍

本發明公開了一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，包括平行設置的上料輸送線和下料輸送線，所述上料輸送線和所述下料輸送線一側設置有裝卸機器人，所述裝卸機器人兩側設置有對稱的絲桿，所述絲桿上均滑動設置有翻轉裝置，所述絲桿上方設置有龍門架，所述龍門架上滑動設置有移動架，所述移動架上設置有搬運裝置，所述龍門架下方設置有對接交替軌道，所述對接交替軌道一側設置有硅片反應裝置。本發明結構合理、簡單，操作便捷，能夠對硅片進行快速有效的運輸及處理。

技術領域

本發明涉及石英舟搬運技術領域，具體涉及一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線。

背景技術

硅片制成的芯片有著驚人的運算能力，廣泛的運用在微電子技術中。在硅片的生產制造中，對硅片的運輸是其生產制造中重要的一個環節，硅片生產時需要對硅片進行處理，在處理時需要對硅片進行翻轉，如何使得硅片進行有效快捷的運輸以及翻轉，成為提高生產硅片效率的關鍵。

上述問題是本領域亟需解決的問題。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，從而能夠對硅片進行快速有效的運輸及處理。

為了解決上述技術問題，本發明提供的方案是：一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，包括平行設置的上料輸送線和下料輸送線，所述上料輸送線和所述下料輸送線一側設置有裝卸機器人，所述裝卸機器人兩側設置有對稱的絲桿，所述絲桿上均滑動設置有翻轉裝置，所述絲桿上方設置有龍門架，所述龍門架上滑動設置有移動架，所述移動架上設置有搬運裝置，所述龍門架下方設置有對接交替軌道，所述對接交替軌道一側設置有硅片反應裝置。

作為本發明的進一步改進，所述翻轉裝置包括底座，所述底座上對稱設置有軸承座，所述軸承座內均連接有轉軸，所述轉軸一側傳動連接有旋轉電機，所述轉軸上均設置有翻轉夾具，所述翻轉夾具包括與轉軸連接的安裝座，所述安裝座上通過支撐柱設置有支撐板，所述安裝座上對稱設置有第一氣缸，所述第一氣缸的輸出端均設置有連接板，所述連接板內側面上均設置有對稱的定位板，所述連接板外側面上均設置有第二氣缸，所述第二氣缸的輸出端均設置有托板，所述翻轉夾具內均設置有石英舟

作為本發明的進一步改進，所述軸承座上設置有傳感器，所述轉軸一側設置有與傳感器匹配的感應片，所述轉軸一側還設置有限位板。

作為本發明的進一步改進，所述底座設置有減震氣缸，所述減震氣缸輸出端設置有減震塊。

作為本發明的進一步改進，所述安裝座上還設置有微動開關。

作為本發明的進一步改進，所述搬運裝置包括安裝在移動架上的機架，所述機架內鋪設有平行的軌道，所述軌道上滑動設置有移動板，所述移動板上設置有同步帶壓板，所述機架上設置有驅動電機，所述驅動電機連接有同步帶，所述同步帶壓板與同步帶嚙合連接，所述機架上還設置有固定板，所述移動板和所述固定板上均對稱設置有伸縮氣缸，所述伸縮氣缸輸出端均設置有側板，所述側板上均對稱設置有定位塊，所述側板底部均設置有墊塊。

作為本發明的進一步改進，所述石英舟包括石英架，所述石英架上設置有對稱的立柱，所述立柱上均開有放置槽。

作為本發明的進一步改進，所述上料輸送線和所述下料輸送線均包括接口軌道，所述接口軌道一次連接有上層緩存機、下層緩存機、裝籃升降機、緩存盒以及變距緩存裝置。

本發明的有益效果：