[發明專利]一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線

在審

• 申請號: 202010582113.2
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111668146A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 董曉清;安迪
• 申請（專利權）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 曹慧萍

1.一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，包括平行設置的上料輸送線(1)和下料輸送線(10)，所述上料輸送線(1)和所述下料輸送線(10)一側設置有裝卸機器人(2)，所述裝卸機器人(2)兩側設置有對稱的絲桿(6)，所述絲桿(6)上均滑動設置有翻轉裝置(3)，所述絲桿(6)上方設置有龍門架(8)，所述龍門架(8)上滑動設置有移動架(4)，所述移動架(4)上設置有搬運裝置(5)，所述龍門架(8)下方設置有對接交替軌道(9)，所述對接交替軌道(9)一側設置有硅片反應裝置(7)。

2.如權利要求1所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述翻轉裝置(3)包括底座(309)，所述底座(309)上對稱設置有軸承座(307)，所述軸承座(307)內均連接有轉軸(305)，所述轉軸(305)一側傳動連接有旋轉電機(301)，所述轉軸(305)上均設置有翻轉夾具(302)，所述翻轉夾具(302)包括與轉軸(305)連接的安裝座(3021)，所述安裝座(3021)上通過支撐柱(3029)設置有支撐板(3027)，所述安裝座(3021)上對稱設置有第一氣缸(3022)，所述第一氣缸(3022)的輸出端均設置有連接板(3023)，所述連接板(3023)內側面上均設置有對稱的定位板(3026)，所述連接板(3023)外側面上均設置有第二氣缸(3024)，所述第二氣缸(3024)的輸出端均設置有托板(3025)，所述翻轉夾具(302)內均設置有石英舟(303)。

3.如權利要求2所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述軸承座(307)上設置有傳感器(308)，所述轉軸(305)一側設置有與傳感器(308)匹配的感應片(306)，所述轉軸(305)一側還設置有限位板(304)。

4.如權利要求2所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述底座(309)設置有減震氣缸(310)，所述減震氣缸(310)輸出端設置有減震塊(311)。

5.如權利要求2所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述安裝座(3021)上還設置有微動開關(3028)。

6.如權利要求1所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述搬運裝置(5)包括安裝在移動架(4)上的機架(504)，所述機架(504)內鋪設有平行的軌道(503)，所述軌道(503)上滑動設置有移動板(502)，所述移動板(502)上設置有同步帶壓板(501)，所述機架(504)上設置有驅動電機(506)，所述驅動電機(506)連接有同步帶(505)，所述同步帶壓板(501)與同步帶(505)嚙合連接，所述機架(504)上還設置有固定板(507)，所述移動板(502)和所述固定板(507)上均對稱設置有伸縮氣缸(508)，所述伸縮氣缸(508)輸出端均設置有側板(510)，所述側板(510)上均對稱設置有定位塊(509)，所述側板(510)底部均設置有墊塊(511)。

7.如權利要求2所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述石英舟(303)包括石英架(3033)，所述石英架(3033)上設置有對稱的立柱(3032)，所述立柱(3032)上均開有放置槽(3031)。

8.如權利要求1所述的一種水平式硅片石英舟裝卸片自動化工作線，其特征在于，所述上料輸送線(1)和所述下料輸送線(10)均包括接口軌道(101)，所述接口軌道(101)一次連接有上層緩存機(102)、下層緩存機(103)、裝籃升降機(104)、緩存盒(105)以及變距緩存裝置(106)。