[發明專利]紫外固化設備中的風機控制方法及紫外固化設備

在審

• 申請號: 202010580923.4
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111701822A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 魏延寶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B05D3/06
• 分類號: B05D3/06;F04D27/00
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 朱文杰

1.一種紫外固化設備中的風機控制方法，包括：

獲取所述紫外固化設備中紫外固化燈頭的目標風壓值，檢測當前所述紫外固化燈頭內的第一風壓值；

基于所述目標風壓值以及所述第一風壓值，根據預設閉環控制算法，確定所述紫外固化燈頭的對應的風機的控制頻率；

基于所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風，使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于所述風機控制頻率，控制風機向所述紫外固化燈頭內送風，使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定之前，還包括：

檢測所述紫外固化設備中熱交換器進氣口處的第一氣壓值和/或第一流量值，和/或所述熱交換器排氣口處的第二氣壓值和/或第二流量值，所述風機與所述熱交換器連通；

基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節；

所述基于所述風機控制頻率，控制風機向所述紫外固化燈頭內送風，包括：

在確定需要對所述控制頻率進行前饋調節時，基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定前饋調節補償值，采用所述前饋調節補償值對所述控制頻率進行補償，得到補償后的所述控制頻率；

基于補償后的所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節，包括：

獲取預設時間段內所述第一氣壓值的第一氣壓波動幅度和/或所述第一流量值的第一流量波動幅度，和/或所述預設時間段內所述第二氣壓值的第二氣壓波動幅度和/或所述第二流量值的第二流量波動幅度；

基于所述第一氣壓波動幅度和/或所述第一流量波動幅度，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節，和/或，

基于所述第二氣壓波動幅度和/或所述第二流量波動幅度，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述閉環控制算法包括但不限于PID算法、模糊控制算法以及神經網絡算法。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述閉環控制算法為所述PID算法，所述基于所述目標風壓值以及所述第一風壓值，根據預設閉環控制算法，確定所述紫外固化燈頭的對應的風機的控制頻率，包括：

獲取所述目標風壓值和所述第一風壓值之間的風壓差值；

將所述風壓差值代入公式

得到所述風機控制頻率，U(t)為所述風機控制頻率，K_p為預設比例參數，T_i為預設積分時間，T_d為預設微分時間，t為當前時間，e(t)為所述風壓差值，為所述風壓差值基于所述當前時間的一階偏導數。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述獲取所述紫外固化設備中紫外固化燈頭的目標風壓值，包括：

獲取所述紫外固化燈頭的燈頭功率，基于燈頭功率與目標風壓值之間的預設對應關系，獲取與所述燈頭功率對應的所述目標風壓值。

7.一種紫外固化設備，包括：風機、紫外固化燈頭、風壓檢測模塊和控制器，其中，

所述紫外固化燈頭用于對晶圓進行紫外固化工藝；

所述控制器，用于獲取所述紫外固化燈頭的目標風壓值，以及基于所述風壓檢測模塊檢測當前所述紫外固化燈頭內的第一風壓值；基于所述目標風壓值以及所述第一風壓值，根據預設閉環控制算法，確定所述風機的控制頻率；基于所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風，使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定。