[發明專利]紫外固化設備中的風機控制方法及紫外固化設備

在審

• 申請號: 202010580923.4
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111701822A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 魏延寶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B05D3/06
• 分類號: B05D3/06;F04D27/00
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 朱文杰

本發明實施例公開了一種紫外固化設備中的風機控制方法及紫外固化設備，所述方法包括：獲取所述紫外固化設備中紫外固化燈頭的目標風壓值，檢測當前所述紫外固化燈頭內的第一風壓值；基于所述目標風壓值和所述第一風壓值，根據預設閉環控制算法，確定所述紫外固化燈頭的對應的風機的控制頻率；基于所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風，通過本方法，可以使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種紫外固化設備中的風機控制方法及紫外固化設備。

背景技術

在半導體領域，UV輔助熱處理是利用紫外光高能量(波長短，光能量高)的特點對已經沉積好的薄膜進行改性處理，這一過程被稱為紫外固化(UV Cure)。UV燈源一般采用無級汞燈，該裝置在發出紫外光的過程中也會產生大量熱能造成燈源溫度升高，必須通過循環風冷系統進行充分冷卻防止器件過熱損壞。

在實際應用過程中，一般通過冷卻風的風壓來衡量冷卻效果，風壓越大代表冷卻越充分，其中，風壓是指UV燈頭內部氣壓和外部大氣之間的壓力差。可以根據風壓要求來選擇可用的風機頻率進行設定。

但是，不同設備之間由于部件加工及安裝等問題，導致風道相關的結構和參數不完全相同。所以，按照同樣的風機頻率進行控制時，會導致最終的風壓差別較大，風壓狀態的不穩定，會導致對燈頭的冷卻效果有所差別，容易存在冷卻不足或過度的情況。

發明內容

本發明實施例的目的是提供一種紫外固化設備中的風機控制方法及紫外固化設備，以解決現有技術中在進行紫外固化工藝時，存在的風壓不穩定導致冷卻效果不穩定的問題。

為解決上述技術問題，本發明實施例是這樣實現的：

第一方面，本發明實施例提供的一種紫外固化設備中的風機控制方法，包括：

獲取所述紫外固化設備中紫外固化燈頭的目標風壓值，檢測當前所述紫外固化燈頭內的第一風壓值；

基于所述目標風壓值以及所述第一風壓值，根據預設閉環控制算法，確定所述紫外固化燈頭的對應的風機的控制頻率；

基于所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風，使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定。

可選地，在所述基于所述風機控制頻率，控制風機向所述紫外固化燈頭內送風，使所述紫外固化燈頭內的風壓保持穩定之前，還包括：

檢測所述紫外固化設備中熱交換器進氣口處的第一氣壓值和/或第一流量值，和/或所述熱交換器排氣口處的第二氣壓值和/或第二流量值，所述風機與所述熱交換器連通；

基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節；

所述基于所述風機控制頻率，控制風機向所述紫外固化燈頭內送風，包括：

在確定需要對所述控制頻率進行前饋調節時，基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定前饋調節補償值，采用所述前饋調節補償值對所述控制頻率進行補償，得到補償后的所述控制頻率；

基于補償后的所述控制頻率，控制所述風機向所述紫外固化燈頭內送風。

可選地，所述基于所述第一氣壓值、所述第一流量值、所述第二氣壓值以及所述第二流量值中的至少之一，確定是否需要對所述控制頻率進行前饋調節，包括：

獲取預設時間段內所述第一氣壓值的第一氣壓波動幅度和/或所述第一流量值的第一流量波動幅度，和/或所述預設時間段內所述第二氣壓值的第二氣壓波動幅度和/或所述第二流量值的第二流量波動幅度；