[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010579833.3
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111696899A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳永利
• 申請（專利權(quán)）人: 芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，其結(jié)構(gòu)包括整流箱、整流腔、入風(fēng)口、濾風(fēng)網(wǎng)、出風(fēng)口、整流葉和夾緊機構(gòu)，本發(fā)明的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，通過在整流箱底部設(shè)置了夾緊機構(gòu)，轉(zhuǎn)動控制旋鈕使轉(zhuǎn)軸外壁的螺紋槽與內(nèi)螺紋塊配合轉(zhuǎn)動，內(nèi)螺紋塊帶動連接塊底部的夾緊塊向右滑動，即可將濾風(fēng)整流裝置拆卸，清洗整流腔內(nèi)壁吸附的粉塵，避免因整流腔內(nèi)壁粉塵堆積而影響濾風(fēng)整流效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助裝置領(lǐng)域。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，其廣泛應(yīng)用于集成電路、通信系統(tǒng)和光伏發(fā)電等領(lǐng)域，由于半導(dǎo)體生產(chǎn)要求嚴格、過程復(fù)雜，生產(chǎn)過程中常因設(shè)備內(nèi)部風(fēng)流量的不均勻性而出現(xiàn)產(chǎn)能低、合格率低的問題，而濾風(fēng)整流裝置則可以快速滿足生產(chǎn)工藝需求，提高產(chǎn)品的合格率。

現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，由于氣流中的粉塵易吸附于整流腔內(nèi)壁，需定期將裝置拆卸清洗粉塵，以保證其濾風(fēng)整流效果，但由于裝置通常以螺紋連接為主要安裝方式，難以將其快速拆卸清洗及更換。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明目的是提供一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，由于氣流中的粉塵易吸附于整流腔內(nèi)壁，需定期將裝置拆卸清洗粉塵，以保證其濾風(fēng)整流效果，但由于裝置通常以螺紋連接為主要安裝方式，難以將其快速拆卸清洗及更換的問題。

(二)技術(shù)方案

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，包括整流箱、整流腔、入風(fēng)口、濾風(fēng)網(wǎng)、出風(fēng)口、整流葉和夾緊機構(gòu)，所述整流箱內(nèi)設(shè)置有整流腔，所述整流箱左側(cè)中部開設(shè)有入風(fēng)口，且入風(fēng)口內(nèi)壁嵌有濾風(fēng)網(wǎng)，所述整流箱后端左側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口，且整流箱內(nèi)壁縱向安裝有整流葉，所述夾緊機構(gòu)設(shè)置于整流箱底部，所述夾緊機構(gòu)包括第一固定塊、轉(zhuǎn)軸槽、第二固定塊、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)珠、控制旋鈕、螺紋槽、內(nèi)螺紋塊和夾緊元件，所述第一固定塊固定于整流箱底部右側(cè)，且第一固定塊內(nèi)左側(cè)開設(shè)有轉(zhuǎn)軸槽，所述第二固定塊固定于整流箱底部左側(cè)，所述轉(zhuǎn)軸外壁右側(cè)通過轉(zhuǎn)珠與轉(zhuǎn)軸槽內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接，且轉(zhuǎn)軸左側(cè)橫向貫穿第二固定塊中部與控制旋鈕右側(cè)固定連接，所述螺紋槽橫向環(huán)繞于轉(zhuǎn)軸外壁右側(cè)，且轉(zhuǎn)軸外壁右側(cè)與內(nèi)螺紋塊內(nèi)壁螺紋連接，所述夾緊元件設(shè)置于整流箱底部前后兩端。

進一步地，所述夾緊元件包括固定桿、連接塊、導(dǎo)桿、限位塊和夾緊塊，所述固定桿內(nèi)側(cè)固定于內(nèi)螺紋塊前后兩端中部，且固定桿外側(cè)貫穿連接塊內(nèi)底部，所述導(dǎo)桿內(nèi)側(cè)左端焊接于第二固定塊前后兩端中部，且導(dǎo)桿頂部左右兩側(cè)固定有限位塊，所述夾緊塊固定于連接塊底部。

進一步地，所述夾緊塊內(nèi)側(cè)貼合有橡膠防滑層，且橡膠防滑層表面開設(shè)有防滑紋路。

進一步地，所述夾緊元件設(shè)置有一對，且對稱分布于轉(zhuǎn)軸前后兩端。

進一步地，所述轉(zhuǎn)珠數(shù)量為四顆，且轉(zhuǎn)珠的截面直徑為2mm。

進一步地，所述導(dǎo)桿截面直徑為1cm，且導(dǎo)桿與轉(zhuǎn)軸間所成的夾角為30°。

進一步地，所述整流葉設(shè)置有五片，且橫向等距安裝于出風(fēng)口處。

進一步地，所述轉(zhuǎn)軸截面直徑為3cm，且轉(zhuǎn)軸外壁中部固定有限位環(huán)。

進一步地，所述轉(zhuǎn)軸和固定桿均為鎢鋼材質(zhì)。

進一步地，所述控制旋鈕為聚乙烯材質(zhì)。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置，具備以下有益效果：