[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010579833.3 | 申請日: | 2020-06-23 |
| 公開(公告)號: | CN111696899A | 公開(公告)日: | 2020-09-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吳永利 | 申請(專利權(quán))人: | 芯米(廈門)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吳圳添 |
| 地址: | 361000 福建省廈門市火炬*** | 國省代碼: | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 備用 整流 裝置 | ||
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,包括整流箱(1),所述整流箱(1)內(nèi)設(shè)置有整流腔(2),所述整流箱(1)左側(cè)中部開設(shè)有入風(fēng)口(3),且入風(fēng)口(3)內(nèi)壁嵌有濾風(fēng)網(wǎng)(4),所述整流箱(1)后端左側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口(5),且整流箱(1)內(nèi)壁縱向安裝有整流葉(6);
其特征在于:還包括夾緊機(jī)構(gòu)(7),所述夾緊機(jī)構(gòu)(7)設(shè)置于整流箱(1)底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述夾緊機(jī)構(gòu)(7)包括第一固定塊(71)、轉(zhuǎn)軸槽(72)、第二固定塊(73)、轉(zhuǎn)軸(74)、轉(zhuǎn)珠(75)、控制旋鈕(76)、螺紋槽(77)、內(nèi)螺紋塊(78)和夾緊元件(79),所述第一固定塊(71)固定于所述整流箱(1)底部右側(cè),且所述第一固定塊(71)內(nèi)左側(cè)開設(shè)有所述轉(zhuǎn)軸槽(72),所述第二固定塊(73)固定于所述整流箱(1)底部左側(cè),所述轉(zhuǎn)軸(74)外壁右側(cè)通過所述轉(zhuǎn)珠(75)與所述轉(zhuǎn)軸槽(72)內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,且所述轉(zhuǎn)軸(74)左側(cè)橫向貫穿所述第二固定塊(73)中部與所述控制旋鈕(76)右側(cè)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述螺紋槽(77)橫向環(huán)繞于所述轉(zhuǎn)軸(74)外壁右側(cè),且所述轉(zhuǎn)軸(74)外壁右側(cè)與所述內(nèi)螺紋塊(78)內(nèi)壁螺紋連接,所述夾緊元件(79)設(shè)置于整流箱(1)底部前后兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述夾緊元件(79)包括固定桿(791)、連接塊(792)、導(dǎo)桿(793)、限位塊(794)和夾緊塊(795),所述固定桿(791)內(nèi)側(cè)固定于內(nèi)螺紋塊(78)前后兩端中部,且所述固定桿(791)外側(cè)貫穿所述連接塊(792)內(nèi)底部,所述導(dǎo)桿(793)內(nèi)側(cè)左端焊接于所述第二固定塊(73)前后兩端中部,且所述導(dǎo)桿(793)頂部左右兩側(cè)固定所述有限位塊(794),所述夾緊塊(795)固定于所述連接塊(792)底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述夾緊塊(795)內(nèi)側(cè)貼合有橡膠防滑層,且所述橡膠防滑層表面開設(shè)有防滑紋路。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述夾緊元件(79)設(shè)置有一對,且對稱分布于所述轉(zhuǎn)軸(74)前后兩端。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述轉(zhuǎn)珠(75)數(shù)量為四顆,且所述轉(zhuǎn)珠(75)的截面直徑為2mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述導(dǎo)桿(793)截面直徑為1cm,且導(dǎo)桿(793)與所述轉(zhuǎn)軸(74)間所成的夾角為30°。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述整流葉(6)設(shè)置有五片,且橫向等距安裝于出所述風(fēng)口(5)處。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備用濾風(fēng)整流裝置,其特征在于:所述轉(zhuǎn)軸(74)截面直徑為3cm,且所述轉(zhuǎn)軸(74)外壁中部固定有限位環(huán)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





