[發明專利]一種承載晶圓的防翹曲裝置

在審

• 申請號: 202010579752.3
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111681979A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 徐權鋒
• 申請（專利權）人: 芯米（廈門）半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

本發明公開了一種承載晶圓的防翹曲裝置，其結構包括晶圓盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和調節定位裝置，本發明通過將調節定位裝置設置于通槽內側中部，便可通過第一旋鈕帶動第一螺紋桿在螺紋座上進行轉動，使得連接座上的固定夾沿著限位座進行前后滑動，實現對固定的直徑距離進行調節，再對活動夾沿著橫桿上的滑槽上進行左右滑動，并且通過第二旋鈕帶動第二螺紋桿進行螺紋固定，實現對固定的左右間距進行調節，便于調節，固定性強，通過橫桿前端中部設置有限位槽，并且限位槽內徑表面與活動夾進行滑動配合，便于進行限位滑動，保證滑動的穩定性。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，具體涉及一種承載晶圓的防翹曲裝置。

背景技術

晶圓在經過研磨工藝之后，由于自身的厚度減薄，尤其是邊緣的厚度特別小，在將晶圓放入晶圓盒之后，會造成翹曲現象的發生，進而容易造成對晶圓的損壞，為了晶圓避免研磨后發生翹曲通過承載晶圓的防翹曲裝置進行放置。

當需要對承載晶圓的防翹曲裝置進行使用的情況下，由于現有防翹曲裝置內徑放置尺寸均為固定狀，不同批次或者不同型號的晶圓直徑尺寸步進相同，并且晶圓與內部放置槽難以緊密貼合放置，移動過程中容易出現晃動跑位，導致晶圓磕碰磨損。

發明內容

(一)解決的技術問題

為了克服現有技術不足，現提出一種承載晶圓的防翹曲裝置，解決了當需要對承載晶圓的防翹曲裝置進行使用的情況下，由于現有防翹曲裝置內徑放置尺寸均為固定狀，不同批次或者不同型號的晶圓直徑尺寸步進相同，并且晶圓與內部放置槽難以緊密貼合放置，移動過程中容易出現晃動跑位，導致晶圓磕碰磨損的問題。

(二)技術方案

本發明通過如下技術方案實現：本發明提出了一種承載晶圓的防翹曲裝置，包括晶圓盒、凹槽、放置槽和調節定位裝置，所述晶圓盒頂端中部嵌入有凹槽，所述調節定位裝置設置于通槽內側中部，所述調節定位裝置包括第一旋鈕、第一螺紋桿、螺紋座、限位座、連接座、橫桿、固定夾、滑槽和固定機構，所述第一旋鈕前端中部與第一螺紋桿相連接，所述第一螺紋桿外徑表面與螺紋座螺紋配合，所述螺紋座與限位座頂部后端相互固定，所述第一螺紋桿外側前端與連接座轉動配合，所述連接座與橫桿后端中部緊密固定，所述橫桿前端中部通過螺栓與固定夾鎖緊固定，所述橫桿左右兩端內中部穿設有滑槽，所述滑槽內側中部設置有固定機構，所述螺紋座與通槽內側中部相互固定。

進一步的，所述凹槽內側左右兩端嵌入有放置槽，所述晶圓盒后端中部貫穿有通槽。

進一步的，所述固定機構包括第二旋鈕、第二螺紋桿和活動夾，所述第二旋鈕前端中部與第二螺紋桿相連接，所述第二螺紋桿與活動夾后端中部螺紋配合，所述第二螺紋桿沿著滑槽內徑表面滑動配合。

進一步的，所述第一旋鈕外部設置有橡膠套，并且橡膠套表面設置有防滑紋。

進一步的，所述滑槽和固定機構設置有兩組，并且呈平行相對狀分布。

進一步的，所述固定夾內側中部設置有夾槽，并且夾槽內徑表面呈光滑狀。

進一步的，所述橫桿前端中部設置有限位槽，并且限位槽內徑表面與活動夾進行滑動配合。

進一步的，所述活動夾內側中部設置有夾槽，并且夾槽內徑表面呈光滑狀。

進一步的，所述底板材質為PVC塑料。

進一步的，所述第一螺紋桿采用不銹鋼材質。

(三)有益效果

與現有技術相比，本發明提供了一種承載晶圓的防翹曲裝置，具備以下有益效果：