[發明專利]一種承載晶圓的防翹曲裝置

在審

• 申請號: 202010579752.3
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111681979A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 徐權鋒
• 申請（專利權）人: 芯米（廈門）半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

1.一種承載晶圓的防翹曲裝置，包括晶圓盒(1)、凹槽(2)和放置槽(3)，所述晶圓盒(1)頂端中部嵌入有凹槽(2)；

其特征在于：還包括調節定位裝置(6)，所述調節定位裝置(6)設置于通槽(5)內側中部，所述調節定位裝置(6)包括第一旋鈕(61)、第一螺紋桿(62)、螺紋座(63)、限位座(64)、連接座(65)、橫桿(66)、固定夾(67)、滑槽(68)和固定機構(69)，所述第一旋鈕(61)前端中部與所述第一螺紋桿(62)相連接，所述第一螺紋桿(62)外徑表面與所述螺紋座(63)螺紋配合，所述螺紋座(63)與所述限位座(64)頂部后端相互固定，所述第一螺紋桿(62)外側前端與所述連接座(65)轉動配合，所述連接座(65)與所述橫桿(66)后端中部緊密固定，所述橫桿(66)前端中部通過螺栓與所述固定夾(67)鎖緊固定，所述橫桿(66)左右兩端內中部穿設有所述滑槽(68)，所述滑槽(68)內側中部設置有所述固定機構(69)。

2.根據權利要求1所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述螺紋座(63)與所述通槽(5)內側中部相互固定。

3.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述凹槽(2)內側左右兩端嵌入有放置槽(3)，所述晶圓盒(1)后端中部貫穿有所述通槽(5)。

4.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述固定機構(69)包括第二旋鈕(691)、第二螺紋桿(692)和活動夾(693)，所述第二旋鈕(691)前端中部與第二螺紋桿(692)相連接，所述第二螺紋桿(692)與活動夾(693)后端中部螺紋配合。

5.根據權利要求4所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述第二螺紋桿(692)沿著所述滑槽(68)內徑表面滑動配合。

6.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述第一旋鈕(61)外部設置有橡膠套，并且橡膠套表面設置有防滑紋。

7.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述滑槽(68)和固定機構(69)設置有兩組，并且呈平行相對狀分布。

8.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述固定夾(67)內側中部設置有夾槽，并且夾槽內徑表面呈光滑狀。

9.根據權利要求2所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述橫桿(66)前端中部設置有限位槽，并且限位槽內徑表面與活動夾(693)進行滑動配合。

10.根據權利要求5所述的一種承載晶圓的防翹曲裝置，其特征在于：所述活動夾(693)內側中部設置有夾槽，并且夾槽內徑表面呈光滑狀。