[發(fā)明專利]晶圓缺陷檢測(cè)方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010577852.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111722092B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡向華;韓俊偉;何廣智;顧曉芳;倪棋梁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/303
• 分類號(hào): G01R31/303;G01N21/956;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

本發(fā)明提供了一種晶圓缺陷檢測(cè)方法及系統(tǒng)，包括建立網(wǎng)格坐標(biāo)系并獲取晶圓缺陷的坐標(biāo)；根據(jù)任意兩個(gè)缺陷間的距離值與第一規(guī)格值的關(guān)系定義臨近缺陷；根據(jù)兩個(gè)所述臨近缺陷的距離值的偏差值與第二規(guī)格值的關(guān)系定義連續(xù)臨近缺陷；根據(jù)順次連接的連續(xù)臨近缺陷上各缺陷之間的關(guān)系及三點(diǎn)連線夾角與第三規(guī)格值的關(guān)系定義鏈?zhǔn)饺毕?；?jì)算所述鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度。本發(fā)明通過(guò)對(duì)晶圓進(jìn)行微距離網(wǎng)格坐標(biāo)化處理，根據(jù)晶圓上的缺陷距離、偏差計(jì)算及三點(diǎn)連線夾角的方法，從晶圓缺陷中篩選出鏈?zhǔn)饺毕?，并?duì)鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度進(jìn)行數(shù)據(jù)收集，實(shí)現(xiàn)鏈?zhǔn)饺毕莸南到y(tǒng)自診斷，達(dá)到鏈?zhǔn)饺毕莸挠行Ч芸亍?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓缺陷檢測(cè)方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的快速發(fā)展，晶圓的特征尺寸不斷減小，造成更多微小的缺陷。晶圓表面的缺陷已經(jīng)成為影響良率的主要障礙，缺陷檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)成為集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)。目前行業(yè)內(nèi)針對(duì)晶圓的缺陷掃描通常采用總計(jì)數(shù)(total count)、遞增計(jì)數(shù)(add count)、重復(fù)計(jì)數(shù)(repeat count)等方法，或根據(jù)缺陷的像素大小、形狀尺寸等利用機(jī)臺(tái)的自分類軟件進(jìn)行粗略分類(rough bin)，從而實(shí)現(xiàn)缺陷管控。然而，針對(duì)如機(jī)械性刮傷、滑移線缺陷等的連續(xù)性的鏈?zhǔn)饺毕輹r(shí)，上述掃描方法由于背景噪聲過(guò)高、無(wú)重復(fù)現(xiàn)象等原因無(wú)法精準(zhǔn)識(shí)別鏈?zhǔn)饺毕?，從而無(wú)法對(duì)其實(shí)現(xiàn)有效的規(guī)格管控。

現(xiàn)有的鏈?zhǔn)饺毕輽z測(cè)方法通過(guò)計(jì)算多個(gè)缺陷之間的距離和位置關(guān)系篩選出鏈?zhǔn)饺毕?。然而，現(xiàn)有技術(shù)僅能通過(guò)鏈?zhǔn)饺毕莸臄?shù)量進(jìn)行管控，無(wú)法甄別不同長(zhǎng)度的鏈?zhǔn)饺毕?，從而無(wú)法實(shí)現(xiàn)有效的異常鏈?zhǔn)饺毕莺Y選，進(jìn)而影響晶圓的有效規(guī)格管控。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓缺陷檢測(cè)方法及系統(tǒng)，通過(guò)計(jì)算鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)有效的異常鏈?zhǔn)饺毕莺Y選，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)晶圓的有效規(guī)格管控。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種晶圓缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，包括：

建立網(wǎng)格坐標(biāo)系，獲取晶圓缺陷的坐標(biāo)P(x,y)；

計(jì)算任意兩個(gè)所述缺陷之間的距離值S_x，所述距離值S_x小于第一規(guī)格值spec1時(shí)，則定義所述距離值S_x對(duì)應(yīng)的兩個(gè)缺陷構(gòu)成所述臨近缺陷；

在有且僅有一個(gè)坐標(biāo)相同的兩個(gè)所述臨近缺陷中，計(jì)算兩個(gè)所述臨近缺陷的距離值S_x的偏差值D_x，所述偏差值D_x小于第二規(guī)格值spec2時(shí)，則定義所述偏差值D_x對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述臨近缺陷構(gòu)成連續(xù)臨近缺陷；

順次連接至少兩個(gè)所述連續(xù)臨近缺陷，判斷所述順次連接的連續(xù)臨近缺陷上任意兩個(gè)相鄰的缺陷是否構(gòu)成臨近缺陷；若是，則判斷所述順次連接的連續(xù)臨近缺陷上任意兩個(gè)相連的臨近缺陷是否構(gòu)成連續(xù)臨近缺陷；若是，則對(duì)所述順次連接的連續(xù)臨近缺陷上任意連續(xù)三點(diǎn)的連線夾角A_x進(jìn)行確認(rèn)，若所有的所述連線夾角A_x均在第三規(guī)格值spec3的范圍內(nèi)，則定義所述順次連接的連續(xù)臨近缺陷為鏈?zhǔn)饺毕荩?/p>

計(jì)算所述鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度。

可選的，計(jì)算所述鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度的步驟包括：

計(jì)算所述鏈?zhǔn)饺毕萆系趇個(gè)所述臨近缺陷之間的距離值len_i，所有的所述距離值之和即為所述鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度LEN，即：

其中，n為所述鏈?zhǔn)饺毕萆系娜毕莸膫€(gè)數(shù)。

可選的，所述鏈?zhǔn)饺毕萆系娜毕莸膫€(gè)數(shù)n≥4。

可選的，所述晶圓缺陷檢測(cè)方法還包括從所述鏈?zhǔn)饺毕葜泻Y選出異常鏈?zhǔn)饺毕荨?/p>

可選的，所述鏈?zhǔn)饺毕莸拈L(zhǎng)度LEN大于第四規(guī)格值spec4時(shí)，定義所述鏈?zhǔn)饺毕轂樗霎惓ｆ準(zhǔn)饺毕荨?/p>