[發明專利]一種真空隔離閥及具有其的真空系統

在審

• 申請號: 202010576511.3
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111594659A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 龐云玲;馮彪;張魁榜;馬現剛;陳林
• 申請（專利權）人: 川北真空科技（北京）有限公司
• 主分類號: F16K31/122
• 分類號: F16K31/122;F16K1/14;F16K1/32;F16K1/42;F16K41/00;F16K27/02;F16K41/04
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 秦廣成

本發明提供的一種真空隔離閥及具有其的真空系統，屬于真空閥門技術領域；真空隔離閥包括：閥體，具有適于連通在真空腔室的外側壁上的開口端，閥體內滑動設置有適于通過開口端朝向真空腔室內伸入的閥板；閥座，適于設于真空腔室的內側壁上，閥座上具有適于與真空腔室的通氣孔進行連通的閥孔，閥孔適于與閥板配合進行封閉。本發明的閥板的移動空間為閥體以及真空腔室，閥板朝向和背離閥座移動實現對閥孔開合；閥板在移動過程中，不與外界接觸，故不會揚起微塵，保證真空腔室內部的真空環境一直處于潔凈狀態，能夠滿足更高、更特殊的真空需求。

技術領域

本發明涉及真空閥門技術領域，具體涉及一種真空隔離閥及具有其的真空系統。

背景技術

真空行業已發展成為工業體系中的不可或缺的一部分，真空行業離不開真空閥門，一般的真空閥門需要由驅動、閥體、閥座、閥板和密封圈組成，并且閥板位于真空腔室的外部。

上述的真空閥門，閥板在運動過程中，容易揚起微塵，滿足不了真空某些特殊場合的需要。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中的真空閥門的閥板運動過程中容易揚起微塵，達不到某些特殊場合的真空需求的缺陷，從而提供一種能夠減少閥板揚塵的真空閥門及具有其的真空系統。

為了解決上述技術問題，本發明提供的真空隔離閥，包括：

閥體，具有適于連通在真空腔室的外側壁上的開口端，所述閥體內滑動設置有適于通過所述開口端朝向所述真空腔室內伸入的閥板；

閥座，適于設于所述真空腔室的內側壁上，所述閥座上具有適于與所述真空腔室的通氣孔進行連通的閥孔，所述閥孔適于與所述閥板配合進行封閉。

作為優選方案，所述閥座一體成型于所述真空腔室的內壁上。

作為優選方案，所述閥體內具有第一腔體和第二腔體，所述第一腔體內滑動設有活塞，所述第二腔體內適于容納所述閥板，所述閥板通過閥桿與所述活塞連接；

所述第一腔體和所述第二腔體之間設有密封組件，所述閥桿可滑動地密封穿過所述密封組件。

作為優選方案，所述密封組件內設有差分抽氣結構，所述差分抽氣結構包括：

差分抽氣腔，為圍繞所述閥桿設置的環形，所述差分抽氣腔分別與所述閥體的第一腔體和第二腔體保持密封；

差分抽氣孔，一端與所述差分抽氣腔連通，另一端適于與抽氣裝置連通。

作為優選方案，所述差分抽氣結構還包括：

差分抽氣環，同心設置在所述差分抽氣腔內，與所述閥桿和所述差分抽氣腔的內壁之間均具有間隙；

彈性密封圈，同心設置在所述差分抽氣腔內，并在所述差分抽氣環的兩側分別設置有至少一個。

作為優選方案，所述閥體的第二腔體通過第一密封法蘭與所述真空腔室的外側壁密封連接。

作為優選方案，所述第一密封法蘭與所述真空腔室的外側壁之間還同心設置有第二密封法蘭。

一種真空系統，具有上述方案中任一項所述的真空隔離閥。

本發明技術方案，具有如下優點：

1.本發明提供的真空隔離閥，閥板的移動空間為閥體以及真空腔室，閥板朝向和背離閥座移動實現對閥孔開合；閥板在移動過程中，不與外界接觸，故不會揚起微塵，保證真空腔室內部的真空環境一直處于潔凈狀態，能夠滿足更高、更特殊的真空需求。

2.本發明提供的真空隔離閥，閥座一體成型于真空腔室的內壁上，不僅縮小了隔離閥整體的體積，還提高了閥座與真空腔室的密閉性。