[發(fā)明專利]一種真空隔離閥及具有其的真空系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010576511.3
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111594659A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龐云玲;馮彪;張魁榜;馬現(xiàn)剛;陳林
• 申請（專利權(quán)）人: 川北真空科技（北京）有限公司
• 主分類號: F16K31/122
• 分類號: F16K31/122;F16K1/14;F16K1/32;F16K1/42;F16K41/00;F16K27/02;F16K41/04
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 秦廣成

1.一種真空隔離閥，其特征在于，包括：

閥體，具有適于連通在真空腔室(10)的外側(cè)壁上的開口端，所述閥體內(nèi)滑動設(shè)置有適于通過所述開口端朝向所述真空腔室(10)內(nèi)伸入的閥板(8)；

閥座(24)，適于設(shè)于所述真空腔室(10)的內(nèi)側(cè)壁上，所述閥座(24)上具有適于與所述真空腔室(10)的通氣孔進(jìn)行連通的閥孔，所述閥孔適于與所述閥板(8)配合進(jìn)行封閉。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空隔離閥，其特征在于，所述閥座(24)一體成型于所述真空腔室(10)的內(nèi)壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空隔離閥，其特征在于，所述閥體內(nèi)具有第一腔體(4)和第二腔體(5)，所述第一腔體(4)內(nèi)滑動設(shè)有活塞(7)，所述第二腔體(5)內(nèi)適于容納所述閥板(8)，所述閥板(8)通過閥桿(9)與所述活塞(7)連接；

所述第一腔體(4)和所述第二腔體(5)之間設(shè)有密封組件，所述閥桿(9)可滑動地密封穿過所述密封組件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空隔離閥，其特征在于，所述密封組件內(nèi)設(shè)有差分抽氣結(jié)構(gòu)，所述差分抽氣結(jié)構(gòu)包括：

差分抽氣腔，為圍繞所述閥桿(9)設(shè)置的環(huán)形，所述差分抽氣腔分別與所述閥體的第一腔體(4)和第二腔體(5)保持密封；

差分抽氣孔(25)，一端與所述差分抽氣腔連通，另一端適于與抽氣裝置連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空隔離閥，其特征在于，所述差分抽氣結(jié)構(gòu)還包括：

差分抽氣環(huán)(26)，同心設(shè)置在所述差分抽氣腔內(nèi)，與所述閥桿(9)和所述差分抽氣腔的內(nèi)壁之間均具有間隙；

彈性密封圈(27)，同心設(shè)置在所述差分抽氣腔內(nèi)，并在所述差分抽氣環(huán)(26)的兩側(cè)分別設(shè)置有至少一個。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空隔離閥，其特征在于，所述閥體的第二腔體(5)通過第一密封法蘭(3)與所述真空腔室(10)的外側(cè)壁密封連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空隔離閥，其特征在于，所述第一密封法蘭(3)與所述真空腔室(10)的外側(cè)壁之間還同心設(shè)置有第二密封法蘭(21)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空隔離閥，其特征在于，所述閥體的第二腔體(5)通過第一密封法蘭(3)與所述真空腔室(10)的外側(cè)壁密封連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空隔離閥，其特征在于，所述第一密封法蘭(3)與所述真空腔室(10)的外側(cè)壁之間還同心設(shè)置有第二密封法蘭(21)。

10.一種真空系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9中任一項所述的真空隔離閥。