[發(fā)明專利]利用非免洗料制作硅芯的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010573411.5 | 申請日: | 2020-06-22 |
| 公開(公告)號: | CN111676510A | 公開(公告)日: | 2020-09-18 |
| 發(fā)明(設計)人: | 余濤;冉祎;楊成;李川;陳井建 | 申請(專利權)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分類號: | C30B13/00 | 分類號: | C30B13/00;C30B29/06;B28D5/04 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 張子寬 |
| 地址: | 614800 四川省*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 利用 非免洗料 制作 方法 | ||
1.一種利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,包括如下步驟:
S1:對非免洗料進行清洗、烘干;
S2:對非免洗料進行單晶拉制,將非免洗料拉制成單晶棒料;
S3:對單晶棒料進行整形,整形成硅芯母料;
S4:對硅芯母料進行多晶拉制,形成硅芯。
2.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟S1中“對非免洗料進行水洗、烘干”具體為通過超聲波對非免洗料進行清洗,通過加熱烘干箱對非免洗料進行烘干。
3.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,在所述步驟S2中進行單晶拉制時的區(qū)熔爐溫度為1400-1500℃,拉制的速率為10-20mm/h。
4.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟S3中的“整形成硅芯母料”具體為將單晶棒料首尾的錐部切除,并將單晶棒料切割成預設長度的硅芯母料。
5.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,非免洗料的來源為以下幾種:第一,對多晶硅棒料進行破碎后產生的非免洗料;第二,在利用單晶致密料、單晶疏松料、單晶復投料、多晶免洗珊瑚料制備單晶料的過程中產生的非免洗料;第三,所述步驟S2中的“單晶拉制”過程產生的非免洗料;第四,所述步驟S3中“整形”產生的非免洗料。
6.一種利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,包括如下步驟:
T1:對非免洗料進行清洗、烘干;
T2:對非免洗料進行多晶鑄錠,形成鑄錠件;
T3:切割鑄錠件,形成硅芯。
7.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T1中“對非免洗料進行水洗、烘干”具體為通過超聲波對非免洗料進行清洗,通過加熱烘干箱對非免洗料進行烘干。
8.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T3中“切割鑄錠件”具體為通過金剛線切割鑄錠件。
9.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T2中“對非免洗料進行多晶鑄錠”時的加熱溫度為1500-1600℃。
10.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,非免洗料的來源為以下幾種:第一,對多晶硅棒料進行破碎后產生的非免洗料;第二,在制備單晶料時產生的非免洗料。
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