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[發(fā)明專利]利用非免洗料制作硅芯的方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202010573411.5 申請日: 2020-06-22
公開(公告)號: CN111676510A 公開(公告)日: 2020-09-18
發(fā)明(設計)人: 余濤;冉祎;楊成;李川;陳井建 申請(專利權)人: 四川永祥多晶硅有限公司
主分類號: C30B13/00 分類號: C30B13/00;C30B29/06;B28D5/04
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 張子寬
地址: 614800 四川省*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 利用 非免洗料 制作 方法
【權利要求書】:

1.一種利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,包括如下步驟:

S1:對非免洗料進行清洗、烘干;

S2:對非免洗料進行單晶拉制,將非免洗料拉制成單晶棒料;

S3:對單晶棒料進行整形,整形成硅芯母料;

S4:對硅芯母料進行多晶拉制,形成硅芯。

2.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟S1中“對非免洗料進行水洗、烘干”具體為通過超聲波對非免洗料進行清洗,通過加熱烘干箱對非免洗料進行烘干。

3.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,在所述步驟S2中進行單晶拉制時的區(qū)熔爐溫度為1400-1500℃,拉制的速率為10-20mm/h。

4.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟S3中的“整形成硅芯母料”具體為將單晶棒料首尾的錐部切除,并將單晶棒料切割成預設長度的硅芯母料。

5.根據權利要求1所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,非免洗料的來源為以下幾種:第一,對多晶硅棒料進行破碎后產生的非免洗料;第二,在利用單晶致密料、單晶疏松料、單晶復投料、多晶免洗珊瑚料制備單晶料的過程中產生的非免洗料;第三,所述步驟S2中的“單晶拉制”過程產生的非免洗料;第四,所述步驟S3中“整形”產生的非免洗料。

6.一種利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,包括如下步驟:

T1:對非免洗料進行清洗、烘干;

T2:對非免洗料進行多晶鑄錠,形成鑄錠件;

T3:切割鑄錠件,形成硅芯。

7.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T1中“對非免洗料進行水洗、烘干”具體為通過超聲波對非免洗料進行清洗,通過加熱烘干箱對非免洗料進行烘干。

8.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T3中“切割鑄錠件”具體為通過金剛線切割鑄錠件。

9.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,所述步驟T2中“對非免洗料進行多晶鑄錠”時的加熱溫度為1500-1600℃。

10.根據權利要求6所述的利用非免洗料制作硅芯的方法,其特征在于,非免洗料的來源為以下幾種:第一,對多晶硅棒料進行破碎后產生的非免洗料;第二,在制備單晶料時產生的非免洗料。

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