[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的軟件控制方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010572197.1
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號(hào): CN111782358A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 狄艷;褚瑞
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G06F9/48
• 分類號(hào): G06F9/48;G06F9/54;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 朱文杰

本申請實(shí)施例公開了一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的軟件控制方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，該方法包括：根據(jù)用戶的軟件啟動(dòng)操作，檢測上位機(jī)與下位機(jī)是否能進(jìn)行通信；若上位機(jī)與下位機(jī)能進(jìn)行通信，則控制下位機(jī)執(zhí)行預(yù)定啟動(dòng)腳本，以啟動(dòng)下位機(jī)中的第一目標(biāo)軟件；在確定第一目標(biāo)軟件已啟動(dòng)后，確定預(yù)設(shè)的上位機(jī)中的至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件，獲取至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址，根據(jù)至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址啟動(dòng)至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件。可見，通過本申請實(shí)施例，用戶可以僅執(zhí)行一次用戶操作就能夠啟動(dòng)上位機(jī)和下位機(jī)中的軟件，解決了目前技術(shù)中用戶逐一手動(dòng)啟動(dòng)上位機(jī)中的每個(gè)軟件和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，操作繁瑣，且會(huì)造成啟動(dòng)延時(shí)的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的軟件控制方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，很多工業(yè)場景中都部署了上位機(jī)和下位機(jī)。比如，在半導(dǎo)體相關(guān)場景中，各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備中都部署有上位機(jī)和下位機(jī)，其中上位機(jī)中運(yùn)行有如SEC、FA和Communicator的軟件，下位機(jī)中運(yùn)行有如EpiTool的軟件，這些軟件共同組成半導(dǎo)體工藝設(shè)備的控制系統(tǒng)。

目前，在部署有上位機(jī)和下位機(jī)的場景下，用戶需要逐一手動(dòng)啟動(dòng)上位機(jī)中的每個(gè)軟件和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，從而達(dá)到啟動(dòng)整個(gè)系統(tǒng)的效果。比如上例中，用戶需要逐一手動(dòng)啟動(dòng)EpiTool軟件、Communicator軟件、FA軟件和SEC軟件，從而達(dá)到啟動(dòng)整個(gè)控制系統(tǒng)的效果。

在實(shí)現(xiàn)本申請過程中，申請人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題：在部署有上位機(jī)和下位機(jī)的場景中，用戶逐一手動(dòng)啟動(dòng)上位機(jī)中的每個(gè)軟件和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，操作繁瑣，且會(huì)造成啟動(dòng)延時(shí)，降低軟件啟動(dòng)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實(shí)施例的目的是提供一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的軟件控制方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，用以解決目前技術(shù)中用戶逐一手動(dòng)啟動(dòng)上位機(jī)中的每個(gè)軟件和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，操作繁瑣，且會(huì)造成啟動(dòng)延時(shí)，降低軟件啟動(dòng)效率的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本申請實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一方面，本申請實(shí)施例提供一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的軟件控制方法，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括上位機(jī)和下位機(jī)，所述上位機(jī)與所述下位機(jī)通信連接，包括：

根據(jù)用戶的軟件啟動(dòng)操作，檢測所述上位機(jī)與所述下位機(jī)是否能進(jìn)行通信；

若所述上位機(jī)與所述下位機(jī)能進(jìn)行通信，則控制所述下位機(jī)執(zhí)行預(yù)定啟動(dòng)腳本，以啟動(dòng)所述下位機(jī)中的第一目標(biāo)軟件；

在確定所述第一目標(biāo)軟件已啟動(dòng)后，確定預(yù)設(shè)的所述上位機(jī)中的至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件，獲取所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址，根據(jù)所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址啟動(dòng)所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件。

另一方面，本申請實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括上位機(jī)和下位機(jī)，所述上位機(jī)與所述下位機(jī)通信連接，所述上位機(jī)配置為根據(jù)用戶的軟件啟動(dòng)操作，檢測是否能與所述下位機(jī)進(jìn)行通信；若能與所述下位機(jī)進(jìn)行通信，則控制所述下位機(jī)執(zhí)行預(yù)定啟動(dòng)腳本，以啟動(dòng)所述下位機(jī)中的第一目標(biāo)軟件；在確定所述第一目標(biāo)軟件已啟動(dòng)后，確定預(yù)設(shè)的所述上位機(jī)中的至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件，獲取所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址，根據(jù)所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址啟動(dòng)所述至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件。

本申請實(shí)施例的技術(shù)方案，根據(jù)用戶的軟件啟動(dòng)操作，檢測上位機(jī)與下位機(jī)之間能否進(jìn)行通信；若能夠進(jìn)行通信，則控制下位機(jī)執(zhí)行預(yù)定啟動(dòng)腳本，以啟動(dòng)下位機(jī)中的第一目標(biāo)軟件；在確定第一目標(biāo)軟件已啟動(dòng)后，確定預(yù)設(shè)的上位機(jī)中的至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件，得到至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址，根據(jù)至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件的地址啟動(dòng)至少一個(gè)第二目標(biāo)軟件。可見，本申請實(shí)施例提供的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了用戶僅執(zhí)行一次用戶操作就能夠啟動(dòng)上位機(jī)和下位機(jī)中的軟件，不必手動(dòng)去逐一啟動(dòng)上位機(jī)和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，解決了目前技術(shù)中用戶逐一手動(dòng)啟動(dòng)上位機(jī)中的每個(gè)軟件和下位機(jī)中的每個(gè)軟件，操作繁瑣，且會(huì)造成啟動(dòng)延時(shí)，降低軟件啟動(dòng)效率的問題。