[發明專利]用于半導體工藝設備的軟件控制方法和半導體工藝設備

在審

• 申請號: 202010572197.1
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111782358A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 狄艷;褚瑞
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F9/48
• 分類號: G06F9/48;G06F9/54;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 朱文杰

1.一種用于半導體工藝設備的軟件控制方法，所述半導體工藝設備包括上位機和下位機，所述上位機與所述下位機通信連接，其特征在于，包括：

根據用戶的軟件啟動操作，檢測所述上位機與所述下位機是否能進行通信；

若所述上位機與所述下位機能進行通信，則控制所述下位機執行預定啟動腳本，以啟動所述下位機中的第一目標軟件；

在確定所述第一目標軟件已啟動后，確定預設的所述上位機中的至少一個第二目標軟件，獲取所述至少一個第二目標軟件的地址，根據所述至少一個第二目標軟件的地址啟動所述至少一個第二目標軟件。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述檢測所述上位機與所述下位機是否能進行通信，包括：

使所述上位機向所述下位機發送連接測試信息；

若所述上位機接收到所述下位機基于所述連接測試信息返回的連接響應信息，則確定所述上位機與所述下位機能進行通信，否則，確定所述上位機向所述下位機發送連接測試信息的次數是否超過預設閾值；

若所述上位機向所述下位機發送連接測試信息的次數超過預設閾值，則確定所述上位機與所述下位機不能進行通信，若所述上位機向所述下位機發送連接測試信息的次數未超過預設閾值，則返回所述使所述上位機向所述下位機發送連接測試信息的步驟。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

根據用戶的軟件退出操作，控制所述下位機執行預定退出腳本，以退出所述第一目標軟件；

在確定所述第一目標軟件已退出后，確定所述用戶選擇的一個或多個所述第二目標軟件，根據一個或多個所述第二目標軟件的軟件標識，查找每一個或多個所述第二目標軟件的運行進程；

終止一個或多個所述第二目標軟件的運行進程，以退出一個或多個所述第二目標軟件。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

向所述下位機發送查找指令，所述查找指令用于在所述下位機中查找所述第一目標軟件的運行進程；

接收所述下位機基于所述查找指令返回的查找結果；

若所述查找結果表示查找到了所述第一目標軟件的運行進程，則確定所述第一目標軟件已啟動，否則，確定所述第一目標軟件已退出。

5.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

遍歷所述上位機內的各個運行進程；

若所述運行進程中包含一所述第二目標軟件的運行進程，則確定該第二目標軟件已啟動，否則，確定該第二目標軟件已退出。

6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法還包括以下步驟中的至少之一：

顯示第一指示標識，所述第一指示標識用于表示所述上位機與所述下位機是否能進行通信；

顯示第二指示標識，所述第二指示標識用于表示所述第一目標軟件已啟動或者已退出；

顯示至少一個第三指示標識，所述至少一個第三指示標識與所述至少一個第二目標軟件一一對應，所述第三指示標識用于標識相應的所述第二目標軟件已啟動或者已退出。

7.一種半導體工藝設備，包括上位機和下位機，所述上位機與所述下位機通信連接，其特征在于，

所述上位機配置為根據用戶的軟件啟動操作，檢測是否能與所述下位機進行通信；若能與所述下位機進行通信，則控制所述下位機執行預定啟動腳本，以啟動所述下位機中的第一目標軟件；在確定所述第一目標軟件已啟動后，確定預設的所述上位機中的至少一個第二目標軟件，獲取所述至少一個第二目標軟件的地址，根據所述至少一個第二目標軟件的地址啟動所述至少一個第二目標軟件。