[發明專利]掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 202010571480.2
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111769214B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 陳奎;陳永勝
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

本申請公開了一種掩膜板及其制作方法，所述掩膜板包括：外框；第一遮擋層，設置于所述外框上，所述第一遮擋層具有多個第一開口；第二遮擋層，可拆卸地設置于所述第一遮擋層上，所述第二遮擋層具有多個第二開口，且所述多個第二開口與所述多個第一開口一一對應，所述多個第二開口中每一者的面積均小于或等于其對應的所述第一開口的面積；相比于現有技術，本申請提供的掩膜板可滿足同一掩膜板進行不同尺寸的面板的制作，減小了制作掩膜板的成本以及時間，提高了工藝效率。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，尤其涉及一種掩膜板及其制作方法。

背景技術

近年來，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)顯示裝置以其獨有的優勢正吸引著業內絕大多數從業者注意，在中小尺寸顯示領域更有取代LCD(LiquidCrystal Display，液晶顯示)面板的趨勢，現階段中小尺寸的OLED面板大多依賴蒸鍍制程，其中在蒸鍍制程中用于圖形定義的治具為掩模板。

目前主流的OLED顯示裝置制程中，發光像素是通過掩膜板對蒸鍍材料的遮擋來成型，不同的產品需要不同的掩膜板，但掩膜板成本很高，而且制作時間較長，效率較低，因此，針對不同尺寸的產品需要不用尺寸的掩膜板，需要耗費大量的成本和時間。

發明內容

本申請實施例提供一種掩膜板及其制作方法，能夠滿足不同尺寸的顯示面板的制作，以解決現有技術中的掩膜板由于只能針對單一尺寸的顯示面板的制作，進而增大成本和時間的技術問題。

為解決上述技術問題，本申請提供一種掩膜板，所述掩膜板包括：

外框；

第一遮擋層，設置于所述外框上，所述第一遮擋層具有多個第一開口；

第二遮擋層，可拆卸地設置于所述第一遮擋層上，所述第二遮擋層具有多個第二開口，且所述多個第二開口與所述多個第一開口一一對應，所述多個第二開口中每一者的面積均小于或等于其對應的所述第一開口的面積。

在本申請的一種實施例中，所述掩膜板還包括設置于所述第一遮擋層以及所述第二遮擋層之間的掩膜層，且所述掩膜層包括與所述多個第一開口一一對應的多個掩膜部，且所述多個掩膜部中的每一者皆具有網格結構。

在本申請的一種實施例中，所述掩膜板用于多塊面板的制備，且所述多塊面板與所述多個掩膜部一一對應，所述多塊面板中每一者的像素區均與其對應的所述掩膜部中的所述網格結構相對應，所述網格結構中的網格開孔與所述像素區中的像素單元相對應。

在本申請的一種實施例中，所述第二開口在所述網格結構上的投影的邊界比所述像素區在所述網格結構上的投影的邊界外擴第一距離，所述第一距離大于或等于三排所述像素單元的開口的寬度。

在本申請的一種實施例中，所述第二遮擋層包括彼此平行的多個第一遮擋條以及彼此平行的多個第二遮擋條，其中所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相互垂直相交且上下配置，且所述多個第二遮擋條為可拆卸式并與所述多個第一遮擋條彼此相接，以形成所述多個第二開口。

在本申請的一種實施例中，所述第二遮擋層包括彼此平行的多個第一遮擋條以及彼此平行的多個第二遮擋條，其中所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相互垂直相交且上下配置，且所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條一體成型，以形成所述多個第二開口。

在本申請的一種實施例中，所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相交疊區域的厚度與所述第二遮擋層中其他區域的厚度相同，所述第二遮擋層的厚度小于或等于30微米。

在本申請的一種實施例中，所述多個第二開口中每一者的面積相同或不相同，所述多個第二開口中的每一者的形狀皆獨立地包括四邊形或具有凹部和/或凸部的多邊形。

根據本申請的上述目的，提供一種掩膜板的制作方法，所述方法包括：