[發明專利]掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 202010571480.2
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111769214B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 陳奎;陳永勝
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

1.一種掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：

外框；

第一遮擋層，設置于所述外框上，所述第一遮擋層具有多個第一開口；

第二遮擋層，可拆卸地設置于所述第一遮擋層上，所述第二遮擋層具有多個第二開口，且所述多個第二開口與所述多個第一開口一一對應，所述多個第二開口中每一者的面積均小于或等于其對應的所述第一開口的面積；

掩膜層，設置于所述第一遮擋層以及所述第二遮擋層之間，所述掩膜層包括與所述多個第一開口一一對應的多個掩膜部，且所述多個掩膜部中的每一者皆具有網格結構；

其中，所述掩膜板用于多塊面板的制備，且所述多塊面板與所述多個掩膜部一一對應，所述多塊面板中每一者的像素區均與其對應的所述掩膜部中的所述網格結構相對應，所述網格結構中的網格開孔與所述像素區中的像素單元相對應。

2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開口在所述網格結構上的投影的邊界比所述像素區在所述網格結構上的投影的邊界外擴第一距離，所述第一距離大于或等于三排所述像素單元的開口的寬度。

3.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二遮擋層包括彼此平行的多個第一遮擋條以及彼此平行的多個第二遮擋條，其中所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相互垂直相交且上下配置，且所述多個第二遮擋條為可拆卸式并與所述多個第一遮擋條彼此相接，以形成所述多個第二開口。

4.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二遮擋層包括彼此平行的多個第一遮擋條以及彼此平行的多個第二遮擋條，其中所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相互垂直相交且上下配置，且所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條一體成型，以形成所述多個第二開口。

5.根據權利要求3或4所述的掩膜板，其特征在于，所述多個第一遮擋條與所述多個第二遮擋條相交疊區域的厚度與所述第二遮擋層中其他區域的厚度相同，所述第二遮擋層的厚度小于或等于30微米。

6.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述多個第二開口中每一者的面積相同或不相同，所述多個第二開口中的每一者的形狀皆獨立地包括四邊形或具有凹部和/或凸部的多邊形。

7.一種掩膜板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

S10、制備第一遮擋層于外框上，且所述第一遮擋層具有多個第一開口，制備掩膜層于所述第一遮擋層上，所述掩膜層包括與所述多個第一開口一一對應的多個掩膜部，且所述多個掩膜部中的每一者皆具有網格結構；

S20、制備可拆卸地第二遮擋層于所述掩膜層遠離所述第一遮擋層的一側，且所述第二遮擋層具有多個第二開口，所述多個第二開口與所述多個第一開口一一對應，且所述多個第二開口中每一者的面積皆小于或等于其對應的所述第一開口的面積，其中，所述掩膜板用于多塊面板的制備，且所述多塊面板與所述多個掩膜部一一對應，所述多塊面板中每一者的像素區均與其對應的所述掩膜部中的所述網格結構相對應，所述網格結構中的網格開孔與所述像素區中的像素單元相對應。