[發(fā)明專利]一種雙遠(yuǎn)心鏡頭及數(shù)字投影光刻系統(tǒng)

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010568828.2
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111596532A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段輝高;胡躍強(qiáng);宋強(qiáng);王景;許恒深;馬國斌;汪濤
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳瓏璟光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/22
• 代理公司: 深圳市六加知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44372
• 代理人: 孟麗平

本發(fā)明實(shí)施例涉及光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種雙遠(yuǎn)心鏡頭，能夠應(yīng)用在數(shù)字投影光刻系統(tǒng)中，該雙遠(yuǎn)心鏡頭包括：第一折射透鏡組、光闌和第二折射透鏡組；其中，所述第一折射透鏡組包括從像面到所述光闌依次設(shè)置的：具有正光焦度的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和具有負(fù)光焦度的第四透鏡；所述第二折射透鏡組包括從所述光闌到物面依次設(shè)置的：具有負(fù)光焦度的第五透鏡、以及、具有正光焦度的第六透鏡、第七透鏡和第八透鏡，本發(fā)明實(shí)施例提供的雙遠(yuǎn)心鏡頭具有很高的分辨率、大像方視場和很低的畸變，成像效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種雙遠(yuǎn)心鏡頭及數(shù)字投影光刻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著信息技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)技術(shù)越來越多的影響到人們的生活，與之相關(guān)的光刻技術(shù)也越來越多的應(yīng)用到更多的領(lǐng)域中，諸如PCB(印刷電路板)和IC(集成電路)制造等行業(yè)對該技術(shù)也越來越關(guān)注。

光刻實(shí)質(zhì)上是一個圖形轉(zhuǎn)移的過程，即把設(shè)計(jì)好的圖形無偏差地復(fù)制到基片上，其中包含一系列的工藝流程：硅片預(yù)處理、涂膠、前烘、曝光、顯影、后烘、刻蝕、去膠和套刻等，各工藝環(huán)節(jié)環(huán)環(huán)相扣，密不可分。在主流的集成電路制造過程中，光刻是最復(fù)雜和最關(guān)鍵的工藝，經(jīng)過多年的改進(jìn)和發(fā)展，其技術(shù)水平已經(jīng)上升到了一個較高的層次。總的來說，如果按照有無使用掩模板來劃分的話，光刻可分為有掩模板光刻與無掩模板光刻。有掩模板光刻分為接觸式曝光、近接式曝光與投影式光刻技術(shù)。無掩膜板光刻有電子束光刻技術(shù)、聚焦離子束光刻技術(shù)、干涉光刻技術(shù)和數(shù)字光刻技術(shù)，其中數(shù)字光刻技術(shù)發(fā)展較為成熟。

數(shù)字光刻技術(shù)作為無掩模板中新興的一種，是在光學(xué)投影成像光刻的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，兩者的工作原理大致相似，最大的不同點(diǎn)在于數(shù)字光刻是使用空間光調(diào)制器代替掩模板來產(chǎn)生掩模板圖形的。數(shù)字光刻中常用的空間光調(diào)制器有兩種，分別為LCD液晶顯示器和DMD數(shù)字微反射鏡裝置。物鏡系統(tǒng)種類繁多，有諸如天塞物鏡、匹茲伐型物鏡、庫克三片式物鏡、雙高斯型物鏡等，而數(shù)字光刻投影物鏡是數(shù)字光刻系統(tǒng)中最核心的部分，現(xiàn)有的投影物鏡主要有雙遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu)和4f傅里葉結(jié)構(gòu)。

在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)以上相關(guān)技術(shù)中至少存在如下問題：目前，數(shù)字光刻投影系統(tǒng)中采用的雙遠(yuǎn)心鏡頭通常存在分辨率低、像方視場小、畸變大、焦深小等問題，導(dǎo)致數(shù)字投影光刻系統(tǒng)的最終成像效果不佳。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明實(shí)施例的目的是提供一種成像效果較好的雙遠(yuǎn)心鏡頭及數(shù)字投影光刻系統(tǒng)。

本發(fā)明實(shí)施例的目的是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

為解決上述技術(shù)問題，第一方面，本發(fā)明實(shí)施例中提供了一種雙遠(yuǎn)心鏡頭，包括：第一折射透鏡組、光闌和第二折射透鏡組；其中，

所述第一折射透鏡組包括從像面到所述光闌依次設(shè)置的：具有正光焦度的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和具有負(fù)光焦度的第四透鏡；

所述第二折射透鏡組包括從所述光闌到物面依次設(shè)置的：具有負(fù)光焦度的第五透鏡、以及、具有正光焦度的第六透鏡、第七透鏡和第八透鏡。

在一些實(shí)施例中，所述第一透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凸面；

所述第二透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凹面；

所述第三透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凹面；

所述第四透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凹面；

所述第五透鏡的像側(cè)面為凹面，物側(cè)面為凹面；

所述第六透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凸面；

所述第七透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凸面；

所述第八透鏡的像側(cè)面為凸面，物側(cè)面為凹面。