[發明專利]一種雙遠心鏡頭及數字投影光刻系統

在審

• 申請號: 202010568828.2
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111596532A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 段輝高;胡躍強;宋強;王景;許恒深;馬國斌;汪濤
• 申請（專利權）人: 深圳瓏璟光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/22
• 代理公司: 深圳市六加知識產權代理有限公司 44372
• 代理人: 孟麗平

1.一種雙遠心鏡頭，其特征在于，包括：第一折射透鏡組、光闌和第二折射透鏡組；其中，

所述第一折射透鏡組包括從像面到所述光闌依次設置的：具有正光焦度的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和具有負光焦度的第四透鏡；

所述第二折射透鏡組包括從所述光闌到物面依次設置的：具有負光焦度的第五透鏡、以及、具有正光焦度的第六透鏡、第七透鏡和第八透鏡。

2.根據權利要求1所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述第一透鏡的像側面為凸面，物側面為凸面；

所述第二透鏡的像側面為凸面，物側面為凹面；

所述第三透鏡的像側面為凸面，物側面為凹面；

所述第四透鏡的像側面為凸面，物側面為凹面；

所述第五透鏡的像側面為凹面，物側面為凹面；

所述第六透鏡的像側面為凸面，物側面為凸面；

所述第七透鏡的像側面為凸面，物側面為凸面；

所述第八透鏡的像側面為凸面，物側面為凹面。

3.根據權利要求2所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述第一透鏡、所述第二透鏡、所述第三透鏡、所述第四透鏡、所述第五透鏡、所述第六透鏡、所述第七透鏡和所述第八透鏡的相對孔徑在1:1.3到1:5.7之間，且有，

在所述第一折射透鏡組中，所述第一透鏡、所述第二透鏡、所述第三透鏡和所述第四透鏡的相對孔徑依次增大，

在所述第二折射透鏡組中，所述第五透鏡、所述第六透鏡、所述第七透鏡和所述第八透鏡的相對孔徑依次減小。

4.根據權利要求3所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述第一透鏡、所述第二透鏡、所述第三透鏡、所述第四透鏡、所述第五透鏡、所述第六透鏡、所述第七透鏡和所述第八透鏡為球面透鏡。

5.根據權利要求4所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述第一透鏡、所述第二透鏡、所述第三透鏡、所述第四透鏡、所述第五透鏡、所述第六透鏡、所述第七透鏡和所述第八透鏡的材料為玻璃或樹脂。

6.根據權利要求5所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述第一折射透鏡組的焦距為82.95mm，所述第二折射透鏡組的焦距為21.68mm，所述雙遠心鏡頭的焦距為3640mm。

7.根據權利要求6所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述雙遠心鏡頭的系統總長為183.7mm，所述雙遠心鏡頭的像方視場為9mm，所述雙遠心鏡頭的像方數值孔徑為0.328，所述雙遠心鏡頭的物方數值孔徑為0.09。

8.根據權利要求7所述的雙遠心鏡頭，其特征在于，

所述雙遠心鏡頭的放大倍率為1/3.7，所述雙遠心鏡頭的分辨率為1.2um，所述雙遠心鏡頭的遠心度為0.022°，所述雙遠心鏡頭的畸變＜0.02％，所述雙遠心鏡頭的焦深為＞±35um。

9.一種數字投影光刻系統，其特征在于，包括沿出光方向依次設置的：前段照明系統、均光系統、空間光調制器、如上述權利要求1-8任一項所述的雙遠心鏡頭、以及基板。

10.根據權利要求9所述的數字投影光刻系統，其特征在于，

所述前段照明系統包括光源，用于出射波長為400-410nm的光束，其中，所述光源為相干光源、非相干光源或部分相干光源。