[發明專利]閘閥控制電路、抽真空設備以及真空室

在審

• 申請號: 202010566699.3
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111927748A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 朱寧炳;周娜;李琳;王佳;李俊杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司
• 主分類號: F04B49/22
• 分類號: F04B49/22;F04B49/06;F04B37/14;H01J37/32
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 佟林松

本發明提供的一種閘閥控制電路、抽真空設備以及真空室，涉及半導體制造設備領域，包括：電源和斷路器，斷路器與電源連接；電磁閥與斷路器的負載端連接；斷路器的負載端還用于與真空泵連接；電磁閥與閘閥控制連接；斷路器根據真空泵的關閉，直接通過電磁閥控制閘閥。在上述技術方案中，該閘閥控制電路取消了泵控制器與閥門控制器之間常時運作信號(NOP)的傳遞，轉而通過與供給真空泵電力的同一電源信號連接，當真空泵和電源之間的電力供給切斷時直接向電磁閥發出控制信號，該控制信號自真空泵關閉至傳遞到電磁閥的過程僅需要不到0.1s的時間，與現有技術中常時運作信號(NOP)需要傳遞0.2s?0.3s的時間相比，明顯降低了信號的傳遞延時。

技術領域

本發明涉及半導體制造設備領域，尤其是涉及一種閘閥控制電路、抽真空設備以及真空室。

背景技術

半導體器件的生產，除了需要超凈的環境以外，在許多生產工序中還需要在真空環境下進行。真空室就是一種可以在半導體器件生產過程中提供真空環境的設備。真空室的真空環境一般是通過真空泵實現的，在需要提供真空環境時利用真空泵將真空室的內腔環境抽至真空狀態，當使用完畢時關閉真空泵。

現有技術中，真空室的真空管路上一般會裝配閘閥，在真空泵停止運作時，閘閥會隨之關閉真空管路，此舉是為了防止真空管與真空室之間產生壓力逆流，破壞真空室內的真空狀態。但是，現有的真空室仍舊會發生內部真空狀態被破壞的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種閘閥控制電路、抽真空設備以及真空室，以解決現有技術中真空室的真空狀態容易被破壞的技術問題。

本發明提供的一種閘閥控制電路，包括：

電源和斷路器，所述斷路器與所述電源連接；

電磁閥，所述電磁閥與所述斷路器的負載端連接，以通過所述斷路器與所述電源連接；所述斷路器的負載端還用于與真空泵連接；

閘閥，所述電磁閥與所述閘閥控制連接；其中，

所述斷路器根據所述真空泵的關閉，直接通過所述電磁閥控制所述閘閥。

本發明還提供了一種抽真空設備，包括真空管路和所述閘閥控制電路；

所述真空泵與所述真空管路連通，所述閘閥安裝在所述真空管路上，所述真空管路用于與密封室連通。

本發明還提供了一種真空室，包括密封室和所述抽真空設備；所述真空設備的所述真空管路與所述密封室連通。

在上述技術方案中，該閘閥控制電路取消了泵控制器與閥門控制器之間常時運作信號(NOP)的傳遞，轉而通過與供給真空泵電力的同一電源信號連接，當真空泵和電源之間的電力供給切斷時直接向電磁閥發出控制信號，該控制信號自真空泵關閉至傳遞到電磁閥的過程僅需要不到0.1s的時間，與現有技術中常時運作信號(NOP)需要傳遞0.2s-0.3s的時間相比，明顯降低了信號的傳遞延時。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中閘閥控制電路的壓力變化表；

圖2為本發明一個實施例提供的閘閥控制電路的壓力變化表；

圖3為本發明一個實施例提供的閘閥控制電路的電連接示意圖；

圖4為本發明一個實施例提供的閘閥控制電路的電路圖。

附圖標記：