[發明專利]閘閥控制電路、抽真空設備以及真空室在審
| 申請號： | 202010566699.3 | 申請日： | 2020-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN111927748A | 公開（公告）日： | 2020-11-13 |
| 發明（設計）人： | 朱寧炳;周娜;李琳;王佳;李俊杰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司 |
| 主分類號： | F04B49/22 | 分類號： | F04B49/22;F04B49/06;F04B37/14;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京辰權知識產權代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 閘閥 控制電路 真空設備 以及 真空 | ||
1.一種閘閥控制電路，其特征在于，包括：
電源和斷路器，所述斷路器與所述電源連接；
電磁閥，所述電磁閥與所述斷路器的負載端連接，以通過所述斷路器與所述電源連接；所述斷路器的負載端還用于與真空泵連接；
閘閥，所述電磁閥與所述閘閥控制連接；其中，
所述斷路器根據所述真空泵的關閉，直接通過所述電磁閥控制所述閘閥。
2.根據權利要求1所述的閘閥控制電路，其特征在于，還包括：
真空泵，所述真空泵與所述斷路器的負載端連接，以通過所述斷路器與所述電源連接；所述電磁閥安裝在所述閘閥上，用于控制所述閘閥開啟或關閉。
3.根據權利要求1所述的閘閥控制電路，其特征在于，還包括：
接電端口，所述接電端口與所述斷路器連接，所述電磁閥通過所述接電端口與所述斷路器連接。
4.根據權利要求3所述的閘閥控制電路，其特征在于，還包括：
手動控制開關，所述手動控制開關連接在所述接電端口與所述電磁閥之間。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的閘閥控制電路，其特征在于，所述電源為三相交流電源或單相交流電源。
6.根據權利要求1-4中任一項所述的閘閥控制電路，其特征在于，所述閘閥為前級管道閥。
7.根據權利要求1-4中任一項所述的閘閥控制電路，其特征在于，電磁閥為常時通電閥門。
8.一種抽真空設備，其特征在于，包括真空管路和如權利要求1-7中任一項所述的閘閥控制電路；
所述真空泵與所述真空管路連通，所述閘閥安裝在所述真空管路上，所述真空管路用于與密封室連通。
9.根據權利要求8所述的抽真空設備，其特征在于，還包括：
高速排氣閥，所述高速排氣閥控制裝配在所述閘閥上。
10.一種真空室，其特征在于，包括密封室和如權利要求9所述的抽真空設備；所述真空設備的所述真空管路與所述密封室連通。
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