[發明專利]一種射頻系統狀態受控的半導體設備在審
| 申請號： | 202010566407.6 | 申請日： | 2020-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN113820531A | 公開（公告）日： | 2021-12-21 |
| 發明（設計）人： | 譚華強;張賽謙 | 申請（專利權）人： | 拓荊科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R19/00 | 分類號： | G01R19/00;G01R19/04;H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 林彥 |
| 地址： | 110179 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 射頻 系統 狀態 受控 半導體設備 | ||
1.一種射頻檢測裝置，其包含：
高通濾波器，其一端電耦合至陶瓷加熱器的射頻回路電極，且其另一端接地；
電壓測量器，其與所述高通濾波器并聯連接；以及
低通電路，其與所述高通濾波器并聯連接。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述低通電路包含低通濾波器。
3.根據權利要求2所述的裝置，其進一步包含電阻，所述電阻與所述低通濾波器串聯連接。
4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述低通電路包含高壓電阻。
5.根據權利要求1所述的裝置，其中所述電壓測量器包含電壓表。
6.根據權利要求1所述的裝置，其中所述裝置連接至電流測量器，其經配置以測量流經所述高通濾波器和所述低通電路的總電流。
7.一種射頻檢測裝置，其包含：
高通濾波器，其一端電耦合至陶瓷加熱器的射頻回路電極，且其另一端接地；
電壓測量器，其與所述高通濾波器并聯連接；以及
低通電路，其一端電耦合至所述陶瓷加熱器的所述射頻回路電極，且其另一端電耦合至射頻功能模塊。
8.根據權利要求7所述的裝置，其中所述低通電路包含低通濾波器。
9.根據權利要求8所述的裝置，其進一步包含電阻，所述電阻與所述低通濾波器串聯連接。
10.根據權利要求7所述的裝置，其中所述低通電路包含高壓電阻。
11.根據權利要求7所述的裝置，其中所述電壓測量器包含電壓表。
12.根據權利要求7所述的裝置，其中所述裝置連接至電流測量器，其經配置以測量流經所述高通濾波器和所述低通電路的總電流。
13.根據權利要求7所述的裝置，其中所述射頻功能模塊為靜電卡盤或直流電源。
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