[發(fā)明專利]一種承載裝置及承載裝置的使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010565922.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN111554609A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;范鐸;張鵬斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 宋天凱

本發(fā)明公開一種承載裝置及承載裝置的使用方法，其中，該承載裝置包括本體，所述本體包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物；所述本體還設(shè)有真空管路、第一真空孔和第二真空孔；所述第一真空孔設(shè)置在所述吸附面表面，所述第二真空孔與外界連通，所述第一真空孔與所述第二真空孔通過所述真空管路連通；還包括開關(guān)部件，所述開關(guān)部件能夠使所述第一真空孔與外界在連通狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)之間切換。上述承載裝置中待吸附物的真空釋放時(shí)間可以大幅縮短，生產(chǎn)效率可以提高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及承載部件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種承載裝置及承載裝置的使用方法。

背景技術(shù)

為保證檢測及作業(yè)時(shí)晶圓表面的平整度，目前，行業(yè)內(nèi)多采用真空吸附形式的晶圓承載盤，即承載盤上布置有氣道(或氣孔)，當(dāng)需要固定晶圓時(shí)，可以打開真空閥，使晶圓與承載盤之間形成密封的真空腔，以達(dá)到固定晶圓的目的，而在檢測完成后，可以關(guān)閉真空閥，以解除晶圓與承載盤之間的真空吸附固定，以便后續(xù)的晶圓傳遞。

但是，在對(duì)晶圓進(jìn)行固定時(shí)，晶圓與承載盤之間會(huì)形成密封的真空腔，即便后續(xù)關(guān)閉了真空閥，晶圓、承載盤之間的真空也無法及時(shí)釋放，這就使得關(guān)閉真空閥之后的一段時(shí)間內(nèi)、承載盤對(duì)晶圓仍存在一定程度的吸附力，如果在此時(shí)對(duì)晶圓進(jìn)行傳遞，很容易造成晶圓的隱裂甚至碎裂，嚴(yán)重影響晶圓的質(zhì)量。

針對(duì)此，現(xiàn)有技術(shù)的一種方案是等待一段時(shí)間，以使得真空吸附緩慢地自然解除，然后再對(duì)晶圓進(jìn)行傳遞，但這會(huì)影響整機(jī)的生產(chǎn)效率。

因此，如何提供一種方案，以克服或者緩解上述缺陷，仍是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種承載裝置及承載裝置的使用方法，其中，該承載裝置的真空釋放時(shí)間可以縮短，能夠提高生產(chǎn)效率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種承載裝置，包括本體，所述本體包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物；所述本體還設(shè)有真空管路、第一真空孔和第二真空孔；所述第一真空孔設(shè)置在所述吸附面表面，所述第二真空孔與外界連通，所述第一真空孔與所述第二真空孔通過所述真空管路連通；還包括開關(guān)部件，所述開關(guān)部件能夠使所述第一真空孔與外界在連通狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)之間切換。

采用這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)需要對(duì)待吸附物進(jìn)行固定時(shí)，可以通過開關(guān)部件將第一真空孔切換至與外界處于關(guān)閉狀態(tài)，然后，可以進(jìn)行抽真空處理，以通過負(fù)壓吸附固定待吸附物；當(dāng)對(duì)待吸附物的操作結(jié)束后，可以關(guān)閉抽氣部件，然后通過開關(guān)部件將第一真空孔切換至與外界處于連通狀態(tài)，以通過第二真空孔連通真空管路和大氣，由于氣壓差的存在，外界的大氣可以迅速地充入本體與待吸附物之間的真空氣道，以解除對(duì)于待吸附物的真空吸附，從而可以在安全的條件下對(duì)待吸附物進(jìn)行快速傳遞，相比于現(xiàn)有技術(shù)，真空釋放的時(shí)間可以大幅縮短，生產(chǎn)效率可以提高。

可選地，所述開關(guān)部件使所述第二真空孔在打開狀態(tài)或封堵狀態(tài)之間切換；或者，所述開關(guān)部件使所述真空管路導(dǎo)通狀態(tài)或關(guān)斷狀態(tài)之間切換。

可選地，所述開關(guān)部件具有封堵件，在所述打開狀態(tài)下，所述封堵件能夠使所述真空管路通過所述第二真空孔與大氣連通，在所述封堵狀態(tài)下，所述封堵件能夠使所述真空管路與大氣斷開。

可選地，所述開關(guān)部件還包括驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件與所述封堵件傳動(dòng)連接，用于驅(qū)使所述封堵件在所述打開狀態(tài)和所述封堵狀態(tài)之間進(jìn)行切換。

可選地，所述驅(qū)動(dòng)件為氣缸、油缸或者電機(jī)。

可選地，所述驅(qū)動(dòng)件安裝于所述本體遠(yuǎn)離所述吸附面的一側(cè)。

可選地，所述第二真空孔的出口端位于所述本體的外周壁。

可選地，所述開關(guān)部件使所述第二真空孔在打開狀態(tài)或封堵狀態(tài)之間切換；所述本體的外緣部設(shè)有缺口槽，所述第二真空孔的出口端位于所述缺口槽的槽底壁，在所述封堵狀態(tài)下，所述封堵件插入所述缺口槽。