[發明專利]一種承載裝置及承載裝置的使用方法

在審

• 申請號: 202010565922.2
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111554609A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 陳魯;范鐸;張鵬斌
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 宋天凱

1.一種承載裝置，其特征在于，包括本體(1)，所述本體(1)包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物；

所述本體(1)還設有真空管路、第一真空孔(11)和第二真空孔(12)；

所述第一真空孔(11)設置在所述吸附面表面，所述第二真空孔(12)與外界連通，所述第一真空孔(11)與所述第二真空孔(12)通過所述真空管路連通；

還包括開關部件(2)，所述開關部件(2)使所述第一真空孔(11)與外界在連通狀態或關閉狀態之間切換。

2.根據權利要求1所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)使所述第二真空孔(12)在打開狀態或封堵狀態之間切換；或者，

所述開關部件(2)使所述真空管路導通狀態或關斷狀態之間切換。

3.根據權利要求2所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)包括封堵件(21)，在所述打開狀態下，所述封堵件(21)使所述真空管路通過所述第二真空孔(12)與外界連通，在所述封堵狀態下，所述封堵件(21)使所述真空管路與外界斷開。

4.根據權利要求3所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)還包括驅動件(22)，所述驅動件(22)與所述封堵件(21)傳動連接，用于驅使所述封堵件(21)在所述打開狀態和所述封堵狀態之間進行切換。

5.根據權利要求4所述承載裝置，其特征在于，所述驅動件(22)為氣缸、油缸或者電機。

6.根據權利要求4所述承載裝置，其特征在于，所述驅動件(22)安裝于所述本體(1)遠離所述吸附面的一側。

7.根據權利要求3-6中任一項所述承載裝置，其特征在于，所述第二真空孔(12)的出口端位于所述本體(1)的外周壁。

8.根據權利要求7所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)使所述第二真空孔(12)在打開狀態或封堵狀態之間切換；所述本體(1)的外緣部設有缺口槽(13)，所述第二真空孔(12)的出口端位于所述缺口槽(13)的槽底壁，在所述封堵狀態下，所述封堵件(21)插入所述缺口槽(13)。

9.根據權利要求3-6中任一項所述承載裝置，其特征在于，所述封堵件(21)具有封堵面部(211)，所述本體(1)朝向所述封堵面部(211)設置的部位為封堵配合面部(131)，所述第二真空孔(12)的出口端位于所述封堵配合面部(131)，所述封堵面部(211)和所述封堵配合面部(131)中，至少一者設有密封件(23)，以在所述封堵狀態下密封所述封堵面部(211)和所述第二真空孔(12)之間的間隙。

10.根據權利要求3-6中任一項所述承載裝置，其特征在于，所述封堵件(21)具有封堵面部(211)，所述第二真空孔(12)的出口端設有密封件(23)，在所述封堵狀態下，所述密封件(23)能夠密封所述封堵面部(211)和所述第二真空孔(12)之間的間隙。

11.根據權利要求2所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)包括封堵件(21)；

所述本體(1)設置有開口，所述開口通過連通通道與所述真空管路連通，所述封堵件(21)被配置為能夠通過所述連通通道滑入或滑出所述真空管路，以關斷或者導通所述真空管路。

12.根據權利要求1所述承載裝置，其特征在于，所述開關部件(2)使所述第二真空孔(12)在打開狀態或封堵狀態之間切換；

還包括：吹氣部件，所述吹氣部件與所述真空管路連通。

13.根據權利要求1-6中任一項所述承載裝置，其特征在于，還包括監測開關(24)，用于監測所述開關部件(2)的狀態信息。